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行業(yè)產(chǎn)品

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北京中科復(fù)華科技有限公司


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磁控濺射鍍膜設(shè)備

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參  考  價(jià):￥10 - ￥280 /臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào)

    MSP-300/400/5100/6200

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)商

  • 所在地

    北京市

聯(lián)系方式：陳經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-04-09 10:03:17瀏覽次數(shù)：663次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：12條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：陳經(jīng)理 （銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn)    

磁控濺射法是在高真空充入適量的氬氣，在陰極（柱狀靶或平面靶）和陽(yáng)極（鍍膜室壁） 之間施加幾百K 直流電壓，在鍍膜室內(nèi)產(chǎn)生磁控型異常輝光放電，使氬氣發(fā)生電離。

詳細(xì)介紹

應(yīng)用方向：科研與教學(xué)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：效率高+多功能；垂直濺射+傾斜共濺射

產(chǎn)品配置：

★樣片數(shù)量及尺寸：6片Ф2英寸（垂直濺射）+ 1片Ф4英寸（共濺射）

★濺射材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。

★濺射腔體：高真空系統(tǒng)。

★濺射不均勻性：≤±3%-±5％

★磁控靶：2-4支；可調(diào)角度；可調(diào)距離

★濺射方向：樣品下置（自上而下濺射）或 樣品上置（自下而上濺射）

★加熱：常規(guī)加熱，可選高溫加熱

★電源配置：射頻；直流；直流脈沖；直流偏壓

★清洗功能：可選配考夫曼離子源

★快速反應(yīng)濺射功能：可選配Speedflo

★膜厚監(jiān)控功能：可選配晶控膜厚在線監(jiān)測(cè)與終點(diǎn)控制

★操作模式：全自動(dòng)+半自動(dòng)控制

類似產(chǎn)品：MSP-300C；MSP-400B

選型參考：樣品在下（MSP-300B）；樣品在上（MSP-300BT）；配置考夫曼離子源（MSP-300BI/MSP-300BTI）



應(yīng)用方向：棒狀樣品批量生產(chǎn)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：棒狀樣品側(cè)壁鍍膜，立式設(shè)備

產(chǎn)品配置：

★樣片數(shù)量及尺寸：30-300根；Ф1mm～Ф30mm，L30mm～L200mm（依據(jù)靶尺寸和樣品尺寸定制）

★濺射材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。

★濺射腔體：高真空系統(tǒng)。

★濺射不均勻性：≤±5%-±8％

★磁控靶數(shù)量：2-4支矩形磁控靶

★磁控靶安裝形式：立式安裝

★樣品夾具：公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)

★加熱：常規(guī)加熱

★電源配置：射頻；直流

★清洗功能：可選配離子源清洗、射頻清洗、反濺清洗模式

★快速反應(yīng)濺射功能：可選配Speedflo

★膜厚監(jiān)控功能：可選配晶控膜厚在線監(jiān)測(cè)與終點(diǎn)控制

★操作模式：全自動(dòng)+半自動(dòng)控制

類似產(chǎn)品：片狀樣品批量鍍膜（MSP-5100C）



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