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當(dāng)前位置：北京中科復(fù)華科技有限公司>>產(chǎn)品展示>>鍍膜設(shè)備>>化學(xué)氣相沉積
是一種在沉積腔室利用輝光放電使其電離后在襯底上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)沉積的半導(dǎo)體薄膜材料制備和其他材料薄膜的制備方法
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