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更新時間：2023-12-30 12:22:48瀏覽次數(shù)：255次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線一、設(shè)備用途： 這是一臺高真空單室有機(jī)/金屬熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，主要用于有機(jī)半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能研究實驗、有機(jī)半導(dǎo)體器件的原理研究實驗?！ ≡撛O(shè)備具有有機(jī)材料熱蒸發(fā)—沉積和金屬材料熱蒸發(fā)—沉積成膜功能。它是在高真空條件下，通過加熱材料的方法，在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜，在襯底上沉積各種金屬或合金電極并形成器件?！ 《⒃O(shè)備主要技術(shù)特點： 1、蒸發(fā)源組件石英復(fù)合組件，為電流控制方
一、設(shè)備用途：
這是一臺高真空單室有機(jī)/金屬熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，主要用于有機(jī)半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能研究實驗、有機(jī)半導(dǎo)體器件的原理研究實驗。
該設(shè)備具有有機(jī)材料熱蒸發(fā)—沉積和金屬材料熱蒸發(fā)—沉積成膜功能。它是在高真空條件下，通過加熱材料的方法，在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜，在襯底上沉積各種金屬或合金電極并形成器件。
二、設(shè)備主要技術(shù)特點：
1、蒸發(fā)源組件石英復(fù)合組件，為電流控制方式，配有電壓表與電流表，3套蒸發(fā)源可實現(xiàn)2對共蒸， 2個金屬蒸發(fā)源(電極水冷)，配有2套電控系統(tǒng)，額定電壓5V，額定電流300A。
2、樣品尺寸100*100mm。
3、真空獲得為復(fù)合分子泵+機(jī)械泵，配有預(yù)抽真空系統(tǒng)，可在分子泵不停止的情況下實現(xiàn)換樣品，設(shè)備30分鐘以內(nèi)優(yōu)于2*10-3pa，極限壓力8*10-4pa。
4、密封刀口無氧銅金屬密封，其余用氟膠圈，真空管路用不銹鋼金屬波紋管路，采用超高真空閥門。
5、每個蒸發(fā)源配擋板，基片配擋板，保證鍍膜的可控性。
6、樣品旋轉(zhuǎn)可在0-30轉(zhuǎn)/分鐘調(diào)速及定位。
三、設(shè)備主要組成：
該設(shè)備由一臺有機(jī)/金屬真空蒸發(fā)鍍膜室、分子泵真空機(jī)組、樣品傳送裝置、電控系統(tǒng)、膜厚檢測、組成。
真空鍍膜室：1組有機(jī)蒸發(fā)源、2組金屬蒸發(fā)源、旋轉(zhuǎn)樣品臺、樣品擋板、真空獲得與測量、電源系統(tǒng)等組成。真空室為前開門式，便于取放樣品及換蒸發(fā)源，主機(jī)與機(jī)柜分體式便于維護(hù)，每組蒸發(fā)源之間有隔板隔離，避免相互污染。
四、工作條件及主要技術(shù)參數(shù)：
1、供電：～380V三相五線供電系統(tǒng)(整機(jī)容量6KW)，環(huán)境溫度10℃～40℃，冷卻水循環(huán)量0.3M3/H，水溫度15℃～30℃，氣源壓力6公斤，6毫米塑料管。
2、極限真空：8×10-4Pa(新設(shè)備);工作背景真空：2×10-3Pa;恢復(fù)工作背景真空時間30分鐘左右。
五、熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備配置參數(shù)：
(一)、真空室及組件1套。
1)、 450*450*500主真空室(包括：不銹鋼U型室及門法蘭1套、XF100觀察窗及接管1套、可裝電極及接管的底法蘭1套、CF150法蘭座及接管1套、CF63法蘭座及接管1套、CF35法蘭座及接管2套、旋轉(zhuǎn)及擋板法蘭座1套、KF16接口1件)。
2)、 減速電機(jī)控制可旋轉(zhuǎn)、定位及調(diào)速樣品臺1套。
3)、 外控樣品臺旋轉(zhuǎn)檔板1套。
4)、 金屬及有機(jī)物蒸發(fā)源3套。(電極水冷)
5)、 外控蒸發(fā)源擋板3套。(電動磁力轉(zhuǎn)軸)
6)、 帶腳輪、支腳、圍板機(jī)架1套。
(二)、真空獲得1套。
1)、 真空室與插板閥連接管道1套(包括KF40預(yù)抽閥連接法蘭)。
2)、 KF40手動高真空角閥2只。
3)、 CF150插板閥2只。
4)、 600升復(fù)合分子泵1套。
5)、 KF25手動高真空角閥1只。
6)、 KF40*1米前級不銹鋼波紋管2根。
7)、 KF40四通通1只。
8)、 KF25*1.3米預(yù)抽不銹鋼波紋管1根。
9)、 KF40壓差閥1只。
10)、 合資6升機(jī)械泵1臺。
11)、 KF16手動充氣閥2只。
12)、 KF40卡箍9只。
13)、 KF25卡箍3只。
14)、 KF16卡箍3只。
(三)、電器控制1套。
1)、 1.6米機(jī)柜1套。
2)、 真空測量1套。(復(fù)合真空計)
3)、 蒸發(fā)加熱控制電源3套(含變壓器)。
4)、 旋轉(zhuǎn)、閥門、照明及蒸發(fā)源擋板控制電源1套。
5)、 總控電源1套。
(四)、其余配件：
1)、 樣品架2套
2)、 過渡真空室1套
3)、 磁力傳送桿1套
4)、 膜厚儀1套。(注：水冷探頭)
5)、 冷卻水循環(huán)機(jī)1套
(五)、密封件及緊固件等。
(六)、設(shè)計調(diào)試及運(yùn)輸。
六、設(shè)計思路及案例：
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