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更新時(shí)間：2023-08-06 17:14:25瀏覽次數(shù)：197次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線有機(jī)金屬熱沉積系統(tǒng)是一種熱蒸發(fā)的方式, 用于將有機(jī)或金屬材料沉積到基板表面上. 有機(jī)材料熱沉積系統(tǒng)使用高精準(zhǔn)熱蒸發(fā)源作為加熱源, 并使用金屬, 石英, 陶瓷或 PBN 坩堝來容納有機(jī)材料以及 PID 控制器來控制其沉積速率，可在 OLED 上堆疊多層薄膜, 廣泛應(yīng)用于有機(jī)發(fā)光二極體, 有機(jī)光伏打電池和材料科學(xué)研究.
腔體尺寸可定制，配置分子泵超高真空系統(tǒng)；
有機(jī)蒸發(fā)源可布置2-20個(gè)蒸發(fā)源；
優(yōu)異的薄膜均勻度小于 ±3%，可選配1個(gè)或多個(gè)膜厚控制儀，同時(shí)具備共蒸發(fā)工藝；
用于有機(jī)材料的蒸發(fā)源（可用金屬、陶瓷、石墨或 PBN 坩堝），采用PID閉環(huán)控制；
蒸發(fā)源溫度控制可達(dá)到精度 ±0.1，同時(shí)*的熱場設(shè)計(jì)，能夠規(guī)避蒸發(fā)大顆粒產(chǎn)生；
具有順序操作或共沉積的多個(gè)蒸發(fā)源，公司具有多個(gè)蒸發(fā)源工作設(shè)計(jì)制造經(jīng)驗(yàn)；
每個(gè)蒸發(fā)源和基材均有安裝遮板，可根據(jù)需要調(diào)整擋板位置和角度；
公司為研發(fā)了大尺寸有機(jī)蒸發(fā)系統(tǒng)，用于新能源領(lǐng)域。
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