離子濺射儀NE-900

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更新時間：2023-03-08 16:26:43瀏覽次數(shù)：217次

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深圳納恩科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

離子濺射儀NE-900依據(jù)二極(DC)直流濺射原理

詳細介紹

離子濺射儀NE-900依據(jù)二極(DC)直流濺射原理。濺射電流調整控制器、微型真空氣閥在工作時結合內部自動控制電路控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體。根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層均勻純凈。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號	離子濺射儀NE-900
主機規(guī)格	300mm×360mm×380mm（W×D×H）
靶（上部電極）	50mm×0.1mm（D×H）
靶材	Au（標配）
樣品室	硼硅酸鹽玻璃 160mm×120mm（D×H）
靶材尺寸	Ф 50mm
真空指示表	真空度：≤ 4X10-2 mbar
離子電流表	電流：50mA
定時器	最長時間：0-360S
微型真空氣閥	可連接φ 3mm 軟管
可通入氣體	多種
電壓	-1600 DCV
機械泵	標準配置 2L/S（國產(chǎn) VRD-8）

離子濺射儀NE-900產(chǎn)品特點：

1、簡單、經(jīng)濟、可靠、外觀精美。
2、可調節(jié)濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。
3、SETPLASMA 手動啟動按鈕可預先設置好壓強和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷。
4、真空保護可避免真空過低造成設備短路。
5、同時可以通過更換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達到更細顆粒的涂層。

6、通過通入不同的惰性氣體以達到更純凈的涂層。

關鍵詞：離子濺射儀

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