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離子濺射儀 MC1000

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福州精科儀器儀表有限公司

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產(chǎn)品簡介

采用磁控型電極，限度地減輕對樣品的損壞

詳細(xì)介紹

采用磁控型電極，限度地減輕對樣品的損壞。

特點(diǎn)：

? 采用LCD觸摸屏，可以更加簡便地設(shè)定加工條件

? 可處理較厚或較大的樣品(選配件)

? 記憶功能可存儲常用加工條件

規(guī)格：

項(xiàng)目		說明
放電	類型	磁控二極管放電型(電場垂直于磁場)
	電極組成	反向平行盤(嵌入磁鐵)
	電壓	0.4 kV DC(直流可變)
	電流	40 mA DC
噴鍍速率 *1() [條件] 壓力：7 Pa 放電電流：40 mA 標(biāo)靶與樣品表面之間的距離：20 mm	Pt 靶(選配件)	15 nm/min
	Pt-Pd 靶(選配件)	20 nm/min
	Au 靶(選配件)	35 nm/min
	Au-Pd 靶(選配件)	25 nm/min
樣品尺寸	直徑	φ60 mm
樣品尺寸	高度	20 mm
機(jī)械泵		135/162 l/min (50/60Hz)
靶材*2		Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)
電源要求		單相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-針插頭線纜(3 m)
尺寸	寬度	450 mm
	長度	391 mm
	高度	390 mm
重量		主機(jī)：約 25 kg 機(jī)械泵：約 28 kg