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JYSC-1000離子濺射儀

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更新時間:2021-07-29 14:42:27瀏覽次數(shù):464次

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產(chǎn)品簡介

此款JYSC-1000型小型磁控離子濺射儀主要用于SEM制樣樣品鍍導電膜(如金膜)或材料鍍膜,儀器性能穩(wěn)定,操作簡單方便

詳細介紹

此款JYSC-1000型小型磁控離子濺射儀主要用于SEM制樣樣品鍍導電膜(如金膜)或材料鍍膜,儀器性能穩(wěn)定,操作簡單方便。采用磁控冷態(tài)濺射,基本不升溫,限度保護樣品。

主要特點:

² 顯示操作面為30°斜面,充分考慮操作的便捷和視覺體驗,方便觀察操作;

² 真空泵連接管路為金屬波紋管,美觀耐用;

² 微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準確,帶有刻度標識;

² 真空泵抽速快,噪音低,適合實驗室使用;

² 控制電路為控制板,工作穩(wěn)定可靠;

² 顯示控制操作部分布局合理,位于同側(cè),使用方便;

² 磁控冷態(tài)濺射,基本不升溫,限度保護樣品;

技術(shù)參數(shù):

1.樣品室空間:直徑120mm×高110mm
2.Au靶為標配,靶材尺寸:φ50mm×0.1mm
3.獨立真空控制電路設(shè)計,實現(xiàn)真空度和濺射電流,安全互鎖,可調(diào)電流40mA;
4.侵入式磁控低溫離子源,可快速更換靶材,環(huán)繞暗區(qū)護罩;
5.使用獨立計時控制器,精準計時,可調(diào)設(shè)置范圍:1-500秒,連續(xù)可調(diào)
6.自動真空泄氣功能,自動排氣,可通過數(shù)字定時器進行控制
7.進口真空泵,抽速8.5m3/h,噪聲不大于48dB,可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統(tǒng)
8.微型真空氣閥:高精度微量流量閥,精度±0.1Pa

關(guān)鍵詞:離子濺射儀 真空泵
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