污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲(chǔ)水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
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更新時(shí)間：2023-12-21 12:06:08瀏覽次數(shù)：195次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線該設(shè)備可沉積單金屬、合金、及多種介質(zhì)膜，多層膜；主要用于Φ150-Φ500輪轂型金屬、非金屬零件表面沉積各類功能膜（耐磨、防腐、導(dǎo)電膜、絕緣膜等）的研發(fā)和小批生產(chǎn)。
一、應(yīng)用領(lǐng)域：
該設(shè)備可沉積單金屬、合金、及多種介質(zhì)膜，多層膜;主要用于Φ150-Φ500輪轂型金屬、非金屬零件表面沉積各類功能膜(耐磨、防腐、導(dǎo)電膜、絕緣膜等)的研發(fā)和小批生產(chǎn)。
二、性能參數(shù)
1. Φ1000x700水冷真空腔體，側(cè)開門，樣品架公自轉(zhuǎn);
2. 頂部和側(cè)面布置有濺射靶位8個(gè);
3. 6″直流靶6只，每只各配3KW直流電源1套;
4. 6″射頻靶2只，各配1.5KW射頻電源1套;
5. 系統(tǒng)配考夫曼離子源用于工件清洗;
6. 腔室可加熱，加熱溫度300℃。
7. 極限真空：5x10-4Pa。
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