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冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

詳細(xì)介紹

冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

儀器照片
儀器名稱	場(chǎng)發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡
儀器型號(hào)	美國(guó)FEI Quanta 400 FEG
儀器簡(jiǎn)介	Quanta FEG場(chǎng)發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡綜合場(chǎng)發(fā)射電鏡高分辨和ESEM環(huán)境掃描電鏡適合樣品多樣性的優(yōu)勢(shì)，可對(duì)各種各樣的樣品（包括導(dǎo)電樣品、不導(dǎo)電樣品、含水含油樣品、加熱樣品等等）進(jìn)行高分辨的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)觀察和分析。 Quanta FEG可同時(shí)安裝能譜儀、波譜儀、EBSP、陰極熒光等附件。
技術(shù)參數(shù)	?MonoCL3+陰極熒光譜儀，波長(zhǎng)范圍160-930nm ?電子束感生電流（EBIC） ? STEM探測(cè)器 ? Apollo 40 SDD能譜儀 ? 液氮冷臺(tái)，溫度范圍為-185℃- +200℃ ? 液氦冷臺(tái)，溫度范圍為6K-300K
儀器功能	? 可在高真空、低真空（130Pa)、環(huán)境真空(4000Pa)下觀察導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品，對(duì)材料的表面和橫截面的微觀形貌、成分進(jìn) 行分析，廣泛應(yīng)用于金屬材料、高分子材料、半導(dǎo)體材料、納米材料等領(lǐng)域； ? 配備的Apollo40 SDD能譜無(wú)需液氮制冷，可進(jìn)行快速的點(diǎn)、線、面分布分析，獲得能譜的mapping圖譜； ? 其樣品室直徑達(dá)284 mm，對(duì)于直徑達(dá)四英寸硅片可以直接進(jìn)行測(cè)試，無(wú)需對(duì)樣品進(jìn)行分割處理；
檢測(cè)案例一（圖片）
檢測(cè)案例二（能譜）
樣品要求	建議提供文獻(xiàn)圖片或者以前做過(guò)的圖片，如果沒(méi)有，檢測(cè)要求需詳細(xì)填寫。可提供12張圖片：即篩選出三個(gè)比較好的區(qū)域，每個(gè)區(qū)域提供3-4張不同放大倍數(shù)滿足測(cè)試要求的圖片，對(duì)于找不到符合測(cè)試要求的區(qū)域的樣品，我們將會(huì)多拍一些區(qū)域以證明樣品的真實(shí)情況！寄送樣品質(zhì)量大于20mg。