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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
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更新時間：2022-11-09 16:10:24瀏覽次數(shù)：269次
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VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀，其靶頭尺寸為2英寸，并且樣品臺的高度可以調(diào)節(jié)
VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀，其靶頭尺寸為2英寸，并且樣品臺的高度可以調(diào)節(jié)。此款鍍膜儀設(shè)計主要是制作一些金屬薄膜。
| 性能指標(biāo)和基本配置 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 特點(diǎn) | ● 特別為SEM樣品鍍導(dǎo)電性薄膜設(shè)計 | |||||
| 主要參數(shù) | ● 輸入電源：220V AC 50/60Hz | |||||
| 濺射腔體 | ● 采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H | |||||
| 濺射頭&樣品臺 | ● 濺射頭可安裝靶材直徑為2英寸，厚度0.1 - 2.5mm | |||||
| 真空系統(tǒng) | ● 安裝有KF25真空接口 | |||||
| 進(jìn)氣 | ● 設(shè)備上配1/4英寸進(jìn)氣口，方便連接氣瓶 | |||||
| 靶材 | ● 靶材尺寸要求：Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度) | |||||
| 各種靶材的參數(shù)（僅供參考） | 對于濺射各種金屬靶材，需要摸索的濺射參數(shù)，下表是本公司實驗所設(shè)置的參數(shù)，歡迎您帶料來科晶實驗室摸索工藝（僅供參考，詳情請點(diǎn)擊） | |||||
| 靶材種類 | 真空度（Pa） | 濺射電流（mA） | 時間（s） | 濺射次數(shù) | ||
| Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | ||
| Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | ||
| 薄膜測厚儀（可選） | 可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上 | |||||
| 產(chǎn)品尺寸 | L460 mm × W 330 mm × H 540 mm | |||||
| 凈重 | 20 kg（不包括泵） | |||||
| 使用注意事項 | ● 有時為了達(dá)到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜 | |||||
| 警告 | ● 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動機(jī)體。 | |||||
| 認(rèn)證 | | |||||
| 保修期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。 | |||||
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