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108AUTO 自動離子濺射儀

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更新時間：2022-09-29 13:51:17瀏覽次數(shù)：197次

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深圳市藍星宇電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

英國 Cressington （US market: Ted Pella） 108Auto 全自動離子濺射鍍膜儀，是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

詳細介紹

英國 Cressington （US market: Ted Pella） 108Auto 全自動離子濺射鍍膜儀

108Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

主要特性

· 自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和的導(dǎo)電噴鍍效果。

· 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

· 操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。

· 在自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程?？赏ㄟ^數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，

· 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達到設(shè)定膜厚時停止噴鍍過程。

· 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動停止噴鍍過程。

· 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。

· 可使用多種金屬靶材：Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標配），靶材更換快速方便。

技術(shù)參數(shù)
樣品室大小	直徑120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")
靶材	Au 靶為標配，Au:Pd, Pt, Pt:Pd （選件）;大小：直徑57mmx 0.1mm厚
樣品臺	可以裝載12個SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為50mm
濺射控制	微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，zui大電流40mA，程序化數(shù)字控制
濺射頭	低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護罩
模擬計量	真空：Atm - 0.001mbar
厚度監(jiān)控 (選件)	使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程，或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）手動終止濺射過程
控制方法	自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器（0－300s），自動放氣
桌上系統(tǒng)	真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng)