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JY-S100 PLUS離子濺射儀（噴金儀）

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產(chǎn)品簡介

JY-S100 PLUS離子濺射儀（噴金儀）JY-S100PLUS 是一款桌上型冷態(tài)磁控濺射鍍膜系統(tǒng)，標(biāo)配旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(tái)，特別適用于各種表面形貌的非導(dǎo)電樣品在掃描電鏡成像中的高質(zhì)量鍍膜，也可滿足電極鍍膜，半導(dǎo)體等材料鍍膜的要求。分類：電鏡制樣設(shè)備, 鍍膜儀, 首頁推薦標(biāo)簽：噴金儀, 離子濺射儀, 鍍膜儀

詳細(xì)介紹

描述

JY-S100PLUS 是一款桌上型冷態(tài)磁控濺射鍍膜系統(tǒng)，標(biāo)配旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(tái)，特別適用于各種表面形貌的非導(dǎo)電樣品在掃描電鏡成像中的高質(zhì)量鍍膜，也可滿足電極鍍膜，半導(dǎo)體等材料鍍膜的要求。

主要特性

通過新型高效低壓直流磁控頭進(jìn)行“超冷"濺射，避免樣品表面受損；
對(duì)于近距離的樣品，新型磁控管設(shè)計(jì)可提供廣角覆蓋濺射；
用于泄氣、吹掃和排氣的獨(dú)立電磁閥設(shè)計(jì)，確保設(shè)備的快速運(yùn)行；
噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氣壓影響，可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材：Pt, Au, Au/Pd, Pt/Pd（Pt 靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。

技術(shù)參數(shù)

濺射系統(tǒng)
靶材	Pt 靶為標(biāo)配，可選 Au，直徑 57mm x 0.1mm 厚
標(biāo)配旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(tái)	旋轉(zhuǎn)速度：0~60rpm 連續(xù)可調(diào)，傾斜角度：-45°~ 45°連續(xù)可調(diào)；不銹鋼腔體：直徑 120mm X 高 75mm；觀察窗：直徑 120mm X 高 45mm；標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺(tái)直徑 40mm，可放 4 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)，其它規(guī)格可訂做；具有雙重鎖緊裝置，可確保樣品在旋轉(zhuǎn)傾斜時(shí)不會(huì)松動(dòng)脫落。
濺射電流	微處理器控制，安全互鎖，電流 0~40mA
濺射頭	新型低電壓磁控管設(shè)計(jì)，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩
計(jì)量表	真空： Atm – 1*10-3mbar，電流：0~99mA
控制方法	帶有“開始"“暫停"按鈕的微處理控制器（1－999s），自動(dòng)抽氣、濺射、關(guān)機(jī)后自動(dòng)放氣。
真空系統(tǒng)
抽氣速率	133L/MIN
極限真空	10-4 mbar 級(jí)
噪音	56dB