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日立集團(tuán)
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更新時(shí)間：2022-08-28 10:45:28瀏覽次數(shù)：258次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線采用磁控型電極，限度地減輕對(duì)樣品的損壞。
采用磁控型電極，限度地減輕對(duì)樣品的損壞。
| 項(xiàng)目 | 說(shuō)明 | |
|---|---|---|
| 放電 | 類型 | 磁控二極管放電型(電場(chǎng)垂直于磁場(chǎng)) |
| 電極組成 | 反向平行盤(嵌入磁鐵) | |
| 電壓 | 0.4 kV DC(直流可變) | |
| 電流 | 40 mA DC | |
| 噴鍍速率 *1() [條件] 壓力：7 Pa 放電電流：40 mA 標(biāo)靶與樣品表面之間的距離：20 mm | Pt 靶(選配件) | 15 nm/min |
| Pt-Pd 靶(選配件) | 20 nm/min | |
| Au 靶(選配件) | 35 nm/min | |
| Au-Pd 靶(選配件) | 25 nm/min | |
| 樣品尺寸 | 直徑 | φ60 mm |
| 高度 | 20 mm | |
| 機(jī)械泵 | 135/162 l/min (50/60Hz) | |
| 靶材*2 | Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4) | |
| 電源要求 | 單相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-針插頭線纜(3 m) | |
| 尺寸 | 寬度 | 450 mm |
| 長(zhǎng)度 | 391 mm | |
| 高度 | 390 mm | |
| 重量 | 主機(jī)：約 25 kg 機(jī)械泵：約 28 kg | |
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