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更新時(shí)間：2024-04-27 07:26:34瀏覽次數(shù)：343次
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EVG GEMINI FB是一款全自動(dòng)具備高精度對(duì)準(zhǔn)和熔融鍵合的工藝平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)了高程度的集成度和自動(dòng)化，主要應(yīng)用于存儲(chǔ)器堆疊、BSI圖像傳感器、SoC等領(lǐng)域的大型量產(chǎn)。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·最多配置6個(gè)預(yù)處理模塊，例如清洗模塊、低溫等離子處理模塊、對(duì)準(zhǔn)驗(yàn)證模塊、解鍵合模塊等。
·采用SmartView NT3對(duì)準(zhǔn)技術(shù)，對(duì)準(zhǔn)精度＜50nm
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