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等離子清洗機(jī)是用于典型的后道封裝前的晶圓加工的理想的設(shè)備，也同時(shí)適用于晶圓級封裝、3D封裝、倒裝，以及傳統(tǒng)封裝。腔體的計(jì)和控制結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)更短的等離子清洗機(jī)的循環(huán)時(shí)間和更低的成本，以及較大產(chǎn)量和經(jīng)濟(jì)實(shí)用的使用成本。等離子清洗機(jī)的應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、介電質(zhì)刻蝕、晶圓凸點(diǎn)、有機(jī)污染去除、晶圓減壓等。等離子清洗機(jī)用于晶圓清潔-等離子清洗機(jī)用于在晶圓凸點(diǎn)工藝前去除污染，還可以去除有機(jī)污染、去除氟和其它鹵素污染、去除金屬和金屬氧化。等離子也可以改善旋涂膜粘接和清潔金屬焊盤。等離子清洗

等離子清洗機(jī)的處理經(jīng)常被用來優(yōu)化晶圓表面接口條件，能讓接口變得導(dǎo)電或者絕緣。半導(dǎo)體、玻璃、石英，甚至塑料材料都能采用等離子清洗機(jī)的活化反應(yīng)，從而更好被粘接。等離子清洗機(jī)適合多種多樣的等離子清洗、表面活化和改善附著力等應(yīng)用。這些能力可以用于半導(dǎo)體制造、微電子封裝和組裝、醫(yī)療設(shè)備和生命科學(xué)器件的制造等。等離子清洗機(jī)的腔體設(shè)計(jì)提供了較好的刻蝕一致性和工藝重復(fù)性。等離子清洗機(jī)應(yīng)用包括各種各樣的刻蝕、灰化、和減壓步驟。其它的等離子清洗機(jī)的工藝包括污染去除、表面粗糙化、增加潤濕性，以及提高焊接和粘接強(qiáng)度

等離子體清洗是的干式清洗技術(shù)，具有綠色環(huán)保等特點(diǎn)，隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，等離子清洗機(jī)也在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用越來越多。如今，不管是采用一般封裝工藝還是倒裝芯片封裝工藝，在用化合物填充封裝前，都需要對被封裝對象采用等離子清洗機(jī)來進(jìn)行清潔清洗。為了提高產(chǎn)品優(yōu)良率，等離子清洗機(jī)的應(yīng)用已經(jīng)被業(yè)界認(rèn)為是必須過程。等離子清洗設(shè)備可以將芯片封裝前的所有大小表面（包括間隔縫隙），都能按生產(chǎn)要求進(jìn)行活化和清洗清潔。等離子清洗機(jī)超精細(xì)清洗（元件清洗）不會(huì)損傷敏感結(jié)構(gòu)等離子清洗機(jī)對表面進(jìn)行選擇性地功能化處理以便進(jìn)行后

等離子清洗機(jī)優(yōu)化制造成本的環(huán)保型表面處理工藝等離子清洗機(jī)不僅可以提高粘接品質(zhì),而且還提供了利用低成本材料的工藝可能性。因?yàn)榻?jīng)過等離子清洗機(jī)的處理,材料表面獲得新的特性,使通材料能夠獲得原本特殊材料才有的表面加工性能。另外等離子清洗機(jī)的清洗作用使溶劑清洗不再需要,既環(huán)保又節(jié)省了大量的清洗干燥時(shí)間。等離子清洗機(jī)是普適性的表面處理工藝日用品往往會(huì)由不同材料復(fù)合加工而成,包括塑料,金屬,玻璃,陶瓷等。而等離子清洗機(jī)的處理工藝對處理材料沒有選擇性,對于各種材料都能處理,這一優(yōu)勢主要是由等離子清洗機(jī)的處理工

LED封裝等離子清洗機(jī)是針對LED封裝工序設(shè)計(jì)，主要對污染物的去除，氧化層還原，表面性能活化等功效，增強(qiáng)材料表面的打線，粘接工藝能力，有利于下一道工藝的進(jìn)行。在LED封裝工藝中，等離子清洗機(jī)處理工藝能解決表面粘接難問題在LED封裝工藝過程中，器件表面的氧化物及顆粒污染物會(huì)降低產(chǎn)品可靠性，影響產(chǎn)品質(zhì)量。在封裝前運(yùn)用等離子清洗機(jī)進(jìn)行清洗處理，可有效如有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、氧化物、微顆粒污染物等，所以等離子清洗機(jī)的處理工藝是一種高精密清洗。點(diǎn)銀膠前使用等離子清洗機(jī)可以使工件表面粗糙度及親水性大大提

電池組裝過程中使用等離子清洗機(jī)是為了防止鋰電池發(fā)生安全事故，一般需要對鋰電池電芯進(jìn)行外貼膠處理，以起到絕緣的作用，防止短路的發(fā)生以及保護(hù)線路、防止刮傷。對絕緣板、端板進(jìn)行清洗，清潔電芯表面臟污，粗化電芯表面，提高貼膠或涂膠的附著力電芯經(jīng)等離子清洗機(jī)處理，依靠等離子中活性離子的“活化作用”達(dá)到去除電芯及鎳片表面污漬。等離子清洗機(jī)有效地去除電芯極柱端面的污物、粉塵等，提高表面潔凈度，為電池焊接提前做準(zhǔn)備，以減少焊接的不良品。全自動(dòng)生產(chǎn)安裝在流水線上，等離子清洗機(jī)可與其他自動(dòng)化設(shè)備無縫對接，便于操作和

等離子清洗機(jī)利用等離子中活性離子的“活化作用”達(dá)到去除電芯及鎳片表面污漬，去除電芯極柱端面的污物、粉塵等，為電池焊接提前做準(zhǔn)備，以減少焊接的不良品。電芯等離子清洗機(jī)的應(yīng)用：?去除鎳片/電芯極柱端面污物、粉塵?鎳片焊接前清洗?極片涂覆前清洗鋰電池的正負(fù)極片是在金屬薄帶上涂覆鋰電池正負(fù)極材料而成，金屬薄帶在涂覆電極材料時(shí)，需要對金屬薄帶進(jìn)行清洗，金屬薄帶一般為鋁薄或銅薄，原來的濕式乙醇清洗，容易對鋰電池其他部件造成損傷。等離子清洗機(jī)是干式清洗能有效解決以上問題?金屬殼，紐扣電池清洗?電池焊接前等離子

等離子清洗機(jī)，不僅效率高，清潔度高，而且還能夠減少有害溶劑對人體和物體的危害，等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、織物印染行業(yè)等低溫滅菌和污染控制領(lǐng)域。解決各種材料的粘接問題。不僅成本低，而且又沒有污染，經(jīng)過等離子清洗機(jī)處理后，也不用特殊的膠水在微電子封裝的生產(chǎn)過程中，由于各種指紋、焊劑、交叉污染、自然氧化，設(shè)備和材料會(huì)形成各種表面污染，包括有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、光阻劑和焊料、金屬鹽等。這些污漬會(huì)對包裝生產(chǎn)過程和質(zhì)量產(chǎn)生重大影響。等離子清洗機(jī)的使用可以通過分子級的污染，在生產(chǎn)過