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等離子清洗機的處理經(jīng)常被用來優(yōu)化晶圓表面接口條件,能讓接口變得導電或者絕緣。半導體、玻璃、石英,甚至塑料材料都能采用等離子清洗機的活化反應,從而更好被粘接。
等離子清洗機適合多種多樣的等離子清洗、表面活化和改善附著力等應用。這些能力可以用于半導體制造、微電子封裝和組裝、醫(yī)療設備和生命科學器件的制造等。
等離子清洗機的腔體設計提供了較好的刻蝕一致性和工藝重復性。等離子清洗機應用包括各種各樣的刻蝕、灰化、和減壓步驟。其它的等離子清洗機的工藝包括污染去除、表面粗糙化、增加潤濕性,以及提高焊接和粘接強度