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X'Pert3 MRD 高分辨X射線衍射儀

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產(chǎn)品型號(hào)XPert3 MRD

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2023-10-03 10:53:05瀏覽次數(shù):272次

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高分辨率X射線衍射儀,主要用途為測(cè)量 Si, Ge, SiC, GaN, InGaN, AlGaN, GaAs, InP, AlN, GaSb 等化合半導(dǎo)體材料的單晶和外延層材料的結(jié)晶完整性,外延層及相應(yīng)半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的組分、厚度、弛豫度等參數(shù)的測(cè)定,外延結(jié)構(gòu)的晶格失配及應(yīng)變狀態(tài)分析,X-Y map均勻性分析,雙軸晶和三軸晶X射線衍射,對(duì)稱和非對(duì)稱掃描,Out-of-plane 和 In-plan......

詳細(xì)介紹

設(shè)備功能

倒易空間掃描(RSM) – 一分鐘完成自動(dòng)掃描及自動(dòng)分析

高分辨衍射(HRXRD) – W/2T,2T/W,2T……掃描

搖擺曲線(Rocking Curve) – W 掃描

反射率(XRR) – 材料密度,厚度,粗糙度(Option)

晶格參數(shù)(Lattice parameter),晶向(Orientation)及晶面鑒定(Reflection plane)

切角(Off-Cut)及平辺方向(Flat)鑒定

晶體缺陷鑒定(Defect)

曲率半徑鑒定(Curvature)

應(yīng)力(Strain)及弛裕度(relaxation)鑒定

晶格失配率鑒定(Mismatch)

成份分析,厚度分析

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