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LY1000非接觸式激光干涉儀

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更新時(shí)間:2023-02-28 13:11:36瀏覽次數(shù):505次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

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聯(lián)系人:張女士

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高靈敏度,不需要靶鏡,非接觸式測(cè)量可測(cè)的微、小、輕、薄、黑、透、易變形、熱表面對(duì)被測(cè)物表面反射率無(wú)嚴(yán)格要求,可測(cè)“黑"表面采用激光自干涉原理,測(cè)量結(jié)果可溯源無(wú)外部光學(xué)器件,操作靈活方便可非接觸測(cè)量物體的位移、振動(dòng),以及材料膨脹系數(shù)等。

詳細(xì)介紹

傳統(tǒng)的激光干涉儀通常需要在被測(cè)目標(biāo)上設(shè)置靶鏡,以反射測(cè)量光線獲得高精度的測(cè)量結(jié)果。鐳測(cè)科技推出的國(guó)際的LY1000型非接觸式激光回饋干涉儀,無(wú)需靶鏡,僅利用待測(cè)工件反射甚至是散射的微弱光線即可實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量,是真正意義上的非接觸式測(cè)量。 除可用于傳統(tǒng)激光干涉儀適用的測(cè)量目標(biāo)外,還可適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的目標(biāo)測(cè)量,如液面高度、半導(dǎo)體晶圓位置、微機(jī)械位移、材料膨脹系數(shù)、振動(dòng)等。

以下是本產(chǎn)品的技術(shù)或特點(diǎn):

1、高靈敏度,可實(shí)現(xiàn)對(duì)非配合目標(biāo)的非接觸式測(cè)量
2、準(zhǔn)共路技術(shù)有效抑制儀器內(nèi)部環(huán)境變化引起的漂移,儀器具有較小的零漂。
3、具有較高的分辨率和較大量程,測(cè)量結(jié)果可以溯源。

LY1000激光回饋干涉儀的分辨率可達(dá)納米量級(jí),量程可達(dá)2m,如果加擴(kuò)束鏡,可達(dá)數(shù)米。它同干涉儀一樣,測(cè)量結(jié)果可以溯源到光波長(zhǎng),從而無(wú)需標(biāo)定。
產(chǎn)品由激光測(cè)頭、信號(hào)處理電箱和軟件組成。


(欲了解更多信息,請(qǐng)閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的:非接觸式激光干涉儀(激光回饋干涉儀) )



型號(hào)鐳測(cè)LY1000
激光頭尺寸300mm×126mm×90mm
激光頭重量4kg
激光工作波長(zhǎng)1064nm
激光功率1~5mW
激光光束直徑3~5mm
工作溫度范圍+10℃~+35℃
儲(chǔ)存溫度范圍+15℃~+50℃
系統(tǒng)組成激光頭、控制箱、環(huán)境補(bǔ)償傳感器、連接電纜
激光穩(wěn)頻精度1×10-6
線性測(cè)量范圍2m
線性測(cè)量精度1×10-6
分辨率2nm
被測(cè)物反射率10-7~1
測(cè)量速度50mm/s



懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解。

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關(guān)鍵詞:激光干涉儀 傳感器
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