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湖南艾科威半導(dǎo)體裝備有限公司


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離子束刻蝕機(jī)

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廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2022-12-22 16:05:12瀏覽次數(shù)：572次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：3條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：李經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

離子束刻蝕又稱為離子銑，利用離子源引出的離子束，直接轟擊工件，將工件上未被掩膜遮蔽的部分材料濺射出來，實(shí)現(xiàn)選擇刻蝕的目的。

詳細(xì)介紹

設(shè)備特點(diǎn)
●工件臺(tái)：圓周旋轉(zhuǎn)或者掃描運(yùn)動(dòng)，刻蝕角度可調(diào)，刻蝕均勻性高，兼容刻蝕和拋光功能 
●工件臺(tái)采用水冷，確保晶片低溫刻蝕 
●可配置等離子體中和槍，確保晶片表面無電荷積累 
●可配置法拉第測(cè)束裝置，確保工藝參數(shù)的可重復(fù) 
●真空系統(tǒng)分子泵/低溫泵可選
 
技術(shù)指標(biāo)
●工件臺(tái) 
　　　　適用晶片尺寸：4"～8"，兼容不規(guī)則方片
　　　　圓周旋轉(zhuǎn)/往復(fù)掃描運(yùn)動(dòng)
●離子源：考夫曼離子源 
　　　　　離子束能量：0eV～1000eV連續(xù)可調(diào) 
　　　　　束流 ：200mA （圓形）或300mA （條形）
●刻蝕均勻性 ：片內(nèi)±5%，片間±3%
 
應(yīng)用范圍
　　用于在基板表面拋光或材料的去除，尤其適用于金屬材料薄膜的刻蝕，如Cu、Au、Pt、Ti、Ni、NiCr等

關(guān)鍵詞：低溫泵
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