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更新時(shí)間：2022-12-18 18:19:24瀏覽次數(shù)：697次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線激光干涉儀3D方法 Lasertex HPI 3D激光測(cè)量系統(tǒng)直線度測(cè)量Lasertex HPI 3D激光測(cè)量系統(tǒng)可以用三種方式實(shí)現(xiàn)直線度測(cè)量：3D測(cè)量方法(常規(guī)配置)使用復(fù)合光學(xué)棱鏡組件使用精密直線度測(cè)量光學(xué)鏡組
測(cè)量方式 | 量程 | 分辨率 | 精度 |
3D測(cè)量方法 | 0-6 m | 0.1 μm | ±( 10+ 10 x L) μm |
使用復(fù)合光學(xué)棱鏡組件 | 0-15 m | 0.01 μm | ±0.2% |
使用精密直線度測(cè)量光學(xué)鏡組 | 0.3-9 m | 0.01 μm | ±0.5% x L μm |
3D測(cè)量方法
HPI-3D可以檢測(cè)沿測(cè)量軸向反光器RK1反射激光束的位置變化。如圖所示，以RL1返回的激光束作為基準(zhǔn)，RK1返回激光束相對(duì)于基準(zhǔn)的位置變化就可以被測(cè)出。測(cè)量結(jié)果既可以用于精密控制也可以用于直線度、垂直度或者平行度測(cè)量。
與主要的干涉定位精度測(cè)量不同，3D測(cè)量獲得數(shù)據(jù)結(jié)果精度略低。
使用復(fù)合光學(xué)棱鏡組件
如圖所示，激光束在經(jīng)過IK1棱鏡時(shí)入射角為偏振角，生成兩條相互平行并且沿著測(cè)量軸向的激光束，1，2。
根據(jù)多普勒效應(yīng)，當(dāng)光學(xué)組件間的距離發(fā)生變化時(shí)，兩束光的頻率會(huì)發(fā)生改變。激光器僅僅對(duì)IK1與RK1之間的夾角變化非常敏感。測(cè)量結(jié)果可以用于修正較小的旋轉(zhuǎn)角度，比如機(jī)械運(yùn)動(dòng)的俯仰與偏擺。
使用精密直線度測(cè)量光學(xué)鏡組
這是另一種測(cè)量直線度，垂直度和平行度的方法。需要使用的光學(xué)組件套裝由2件鏡組組成，分光鏡WP2和反射鏡WRP2。經(jīng)過WP2的光束會(huì)按特定夾角分成2束，當(dāng)2束光的光路長(zhǎng)度不一致時(shí)，就會(huì)被激光器測(cè)出。
使用精密直線度測(cè)量光學(xué)鏡組，WRP2應(yīng)該作為固定基準(zhǔn)，WP2沿著測(cè)量方向運(yùn)動(dòng)。每次測(cè)量一個(gè)方向的直線度。WP2不應(yīng)距離WRP2過近。
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