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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)

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更新時(shí)間：2022-12-16 17:40:51瀏覽次數(shù)：658次

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產(chǎn)品簡介

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)

詳細(xì)介紹

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)

型號：HVC-800DA
廠家：韓國Hanil真空
技術(shù)指標(biāo):
（1）可沉積各種金屬材料包括難熔金屬、絕緣材料的高純度、高質(zhì)量薄膜樣品.
（2）具有高真空(< 2×10^-7 Torr ), 低腔溫（<90^oC），適合Lift-Off制程要求.
（3）可裝載標(biāo)準(zhǔn)的2’’和4’’的晶片和不規(guī)則大小的樣品，樣品的均勻性 <3%.
（4）設(shè)置6個(gè)坩鍋，可以完成不同金屬薄膜的多層沉積.
（5）配有膜厚儀實(shí)時(shí)對膜厚進(jìn)行檢測，實(shí)現(xiàn)對薄膜的厚度的精確控制。

（6）配備軟件操作系統(tǒng)，可編制沉積程序，并可選擇進(jìn)行手動(dòng)和自動(dòng)制程。

主要功能及應(yīng)用范圍：
主要用于光學(xué)膜、電學(xué)膜以及半導(dǎo)體領(lǐng)域的高質(zhì)量薄膜的沉積。

關(guān)鍵詞：鍍膜機(jī) 絕緣材料

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