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沈陽愛科斯科技有限公司


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IKS-OPT2700電子束蒸發(fā)光學鍍膜機

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更新時間:2023-02-12 10:12:03瀏覽次數(shù):884次

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商鋪產(chǎn)品:21條

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產(chǎn)品簡介

設(shè)備用途:大面積電子槍蒸發(fā)光電膜、光學膜和防指紋膜

詳細介紹


  設(shè)備用途:大面積電子槍蒸發(fā)光電膜、光學膜和防指紋膜。

  愛科斯的IKS-OPT2700蒸發(fā)鍍膜機為實現(xiàn)大量快速生產(chǎn)大面積光學膜鍍膜和單層/多層表面改性膜而設(shè)計,本機為立式單腔體鍍膜機,是一種基于電子槍蒸發(fā)的多層光學薄膜鍍膜系統(tǒng)。本設(shè)備的主要產(chǎn)品蒸發(fā)沉積多層光學介質(zhì)膜和防指紋膜等,例如,可見光彩色膜、鋁反射膜、AF防指紋膜、低熔點有機物膜、可見光分光膜、可見光抗反射膜等,也可以為特定的簡單光學特性膜系進行調(diào)試生產(chǎn)。

  設(shè)備特點

  1. 產(chǎn)品設(shè)計,由愛科斯技術(shù)與產(chǎn)品性能的無縫對接整合,創(chuàng)造可靠、穩(wěn) 定、安全、智能化鍍膜系統(tǒng)!

  2. 真空獲得,重新優(yōu)化設(shè)計的真空獲得系統(tǒng),滿足快捷平穩(wěn)真空環(huán)境!

  3. 蒸發(fā)源和離子源,合理的布局和高品質(zhì)的加工技術(shù),調(diào)試技術(shù),實現(xiàn)工藝 進程自動調(diào)節(jié),電子束創(chuàng)新結(jié)構(gòu)與精確速率保障材料沉積更精確、穩(wěn)定!

  4.自動運行控制系統(tǒng),全新開發(fā)精確穩(wěn)定系統(tǒng)!設(shè)置簡單,操作簡便!

  設(shè)備簡述

  IKS-OPT2700是專為大面積光學薄膜鍍膜而設(shè)計的電子束蒸發(fā)鍍膜機。鍍膜機系統(tǒng)由真空室、真空泵、真空檢測與控制、襯底加熱系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、離子源輔助沉積系統(tǒng)、電阻蒸發(fā)系統(tǒng)、膜厚監(jiān)測系統(tǒng)、工作氣體體積流量控制系統(tǒng)、工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、PLC控制的自動鍍膜等組成。

  蒸發(fā)材料常用稀有金屬,如氟化釔、氟化鐠、鍺、硫化鋅、氟化鎂、、二氧化硅、氧化鋯、鈷、鎵、硒等金屬。銅、鉬、硅、鍺等金屬是反射器光學材料中常用的材料。

  可涂裝可見光彩色膜、鋁反射膜、AF指紋膜、低熔點有機膜、可見光分光膜、可見光防反射膜等

  設(shè)備參數(shù)

爐體尺寸

Ф2700×H1670

工件架

φ2650*H420mm

真空度

極限真空:6×10-4Pa(24小時空載,不加熱)

重量

8000kg,地板承重1000kg/m2

漏率

4×10-3Pa×L/S(氦撿漏)

溫度

室溫-250℃,溫度均勻性±5%

工作真空

6*10-3Pa(自動工藝啟動)

供電

三相電, 380V50Hz,60-100KW

低真空

10 分鐘10Pa

水冷

腔體流量大于4000l/h,泵組流量大于1800l/h 冷凍機流量大于1600l/h

高真空

6 分鐘8×10-3Pa

溫水

蒸發(fā)源1800l/h,35-60

真空測量

全程監(jiān)控,實時取點

占地

L6×w5.5×H3.5m

應(yīng)用

眼鏡、反光鏡、手機背板、防護罩、光通訊、光學顯示等

 

  應(yīng)用



關(guān)鍵詞:鍍膜機 真空泵 稀有金屬

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