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行業(yè)產(chǎn)品

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合肥真萍電子科技有限公司


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刻蝕機

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式：張經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-11-19 16:17:55瀏覽次數(shù)：290次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：4條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：張經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

刻蝕機

詳細介紹

HF刻蝕

均勻性

刻蝕速率均一性： 基板內(nèi) : ≤ 8%

基板間 : 3% 

批次間 : 3%

基板邊緣保證距離：≤5mm

O3成膜

均勻性

刻蝕速率均一性： 基板內(nèi) : ≤ 8%

基板間 : 4% 

批次間 : 4%

基板邊緣保證距離：≤5mm

玻璃表面

接觸角

≤ 5° Pure Glass

基板邊緣保證距離：≤5mm

Particle

管控

清洗后顆粒

A: 總顆粒數(shù) ≤15，M+L≤5，L≤0（S：1~3μm

M：3~5μm，L：5μm）

B: 顆粒增加 ：0

C: 顆粒去除率 ＞98%

設(shè)備流程

Robot Input→EUV→Buffer→Lift+Rinse+Turn→O3→Lift+Rinse+Turn→HF→Lift+Rinse+Turn→O3→Lift+Rinse+Turn→Final Rinse+BJ→AK→Robot Output

優(yōu)勢

節(jié)約空間；

功能完備，除產(chǎn)能外，性能等同量產(chǎn)線，特別適合用于產(chǎn)能要求不高的研發(fā)線；

價格低廉，使用方便，各個模塊獨立可獨立設(shè)置運行。

真萍科技作為專業(yè)的烘箱設(shè)備制造廠商，可根據(jù)客戶特殊需求定制您需要的滿意產(chǎn)品，有需求的客戶。

關(guān)鍵詞：烘箱設(shè)備
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