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杭州華盼科技有限公司


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探針式表面輪廓儀(臺階儀)

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產(chǎn)品型號DektakXT

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:錢經(jīng)理 查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-12-09 14:47:06瀏覽次數(shù):617次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:29條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:錢經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

簡要描述:桌面型探針式表面輪廓儀

詳細介紹

DektakXT®探針式輪廓儀革命性的突破設計創(chuàng)新,實現(xiàn)了垂直高度重復性高達4埃,數(shù)據(jù)采集能力提高了40%。這一里程碑的創(chuàng)新和突破,使得DektakXT實現(xiàn)了納米尺度的表面輪廓測量,從而可以廣泛的應用于微電子器件,半導體,電池,高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學領域。

技術創(chuàng)新四十余載,不斷突破用攀高峰

Dektak品牌是基于微處理器控制的輪廓儀,實現(xiàn)微米測量的臺階儀,可以達到3D測量的儀器,個人電腦控制的輪廓儀,全自動300mm臺階儀?,F(xiàn)在,全新的DektakXT延續(xù)了這種開創(chuàng)性的風格,成為世界*臺采用具有具有單拱龍門式設計,配備D攝像機,并且利用64位同步數(shù)據(jù)處理模式完成較佳測量和操作效率的臺階儀。

提高測量和數(shù)據(jù)分析速度

采用高速的直接驅(qū)動掃描樣品臺,DektakXT在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大縮短了每次掃描的間隔時間,將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%。另外,DektakXT采用布魯克具有64位數(shù)據(jù)采集同步分析的Vision64,可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度,并且可以加快數(shù)據(jù)濾波和多次掃描數(shù)據(jù)庫分析的速度。

提高操作的可重復性

使用單拱龍門結構設計更堅硬持久不易彎曲損壞,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。DektakXT會把系統(tǒng)和環(huán)境噪音引起的測量誤差降到較低,能夠更穩(wěn)定可靠的掃描高度小于10nm的臺階,獲得其形貌特征。

完善的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

與DektakXT的創(chuàng)新性設計相得益彰的配置是布魯克Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上較實用簡潔的用戶界面,具備智能板塊,可視化的使用流程,以及各種參數(shù)的自助設定以滿足用戶的各種使用要求,快速簡便的實現(xiàn)各種類型數(shù)據(jù)的采集和分析。

簡便易行的實驗操作系統(tǒng)

DektakXT新穎的探針的部件自動對準裝置,可以盡量避免用戶在裝針的過程中出現(xiàn)針尖損傷等意外。為盡可能滿足所有應用的需求,布魯克提供各種尺寸的標準探針和特制探針。

高效率的保證

DektakXT的測量重復性為工程師們提供準確的薄膜厚度和應力測量,使其可以精確調(diào)節(jié)刻蝕和鍍膜工藝來提高產(chǎn)品的優(yōu)良率。

臺階儀Dektak XT能實現(xiàn):
的性能,臺階高度重現(xiàn)性低于4埃
Single-arch設計提供具突破性的掃描穩(wěn)定性
*的“智能電子器件”設立了新低噪音基準
新硬件配置使數(shù)據(jù)采集時間縮短40%
64-bit,Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件,使數(shù)據(jù)分析速度提高了10倍
頻率,操作簡易
直觀的Vision64用戶界面,操作簡易
針尖自動校準領域,的價值
布魯克(Bruker)以實惠的配置實現(xiàn)較高的性能
單傳感器設計,提供單一平面上低作用和寬掃描范圍

規(guī)格:

測量技術:探針輪廓儀DEKTAK XT

測量功能:二維表面輪廓測量/可選三維測量

樣品視景:可選放大倍率,1to4mmFOV

探針傳感器:低慣量傳感器(LIS3)

探針壓力:使用LIS3傳感器:1至15mg

探針選項:探針曲率半徑可選范圍:50nm至25μm;高徑比(HAR)針尖:10μm×2μm和200μm×20μm;可按客戶要求定制針尖

樣品X/Y載物臺:手動X-Y平移:100mm(4英寸);機動X-Y平移:150mm(6英寸)

樣品旋轉(zhuǎn)臺:手動,360°旋轉(zhuǎn);機動,360°旋轉(zhuǎn)

計算機系統(tǒng):64-bit多核并行處理器,Windows7;Optional23英寸平板顯示器

軟件:Vision64操作及分析軟件;應力測量軟件;縫合軟件;三維掃描成像軟件

減震裝置:減震裝置可用

掃描長度范圍:55mm(2英寸)

每次掃描數(shù)據(jù)點:較多可達120000數(shù)據(jù)點

較大樣品厚度:50mm(2英寸)

較大晶圓尺寸:200mm(8英寸)

臺階高度重現(xiàn)性:<4埃,1sigma在5μm垂直范圍下)

輸入電壓:100-240VAC,50-60Hz

溫度范圍,運行范圍:20到25℃

濕度范圍:≤80%,無冷凝

系統(tǒng)尺寸及重量:455mmW×550mmD×370mmH(17.9in.W×22.6in.D×14.5in.H);34公斤(75磅);

附件:550mmL×585mmW×445mmH(21.6in.L×23in.E×17.5in.H);21.7公斤(48磅)

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