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行業(yè)產(chǎn)品

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翌穎科技（上海）有限公司


P-170 臺階儀

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產(chǎn)品型號P-170

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更新時間：2022-12-23 14:33:32瀏覽次數(shù)：346次

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產(chǎn)品簡介

P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將行業(yè)的P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗證的HRP®-260的機械傳送臂相結合。 這樣的組合為機械傳送臂系統(tǒng)提供了極低的擁有成本，適用于半導體，化合物半導體和相關行業(yè)。 P-170可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。該系統(tǒng)結合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超......

詳細介紹


P-170 Stylus Profiler




  P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能，適用于生產(chǎn)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 P-170具有*的圖案識別算法、增強的光學系統(tǒng)和*的平臺，這保證了性能的穩(wěn)定和系統(tǒng)間配方的無縫移植- 這是24x7生產(chǎn)環(huán)境的關鍵要求。


產(chǎn)品描述

  P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將行業(yè)的P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗證的HRP®-260的機械傳送臂相結合。 這樣的組合為機械傳送臂系統(tǒng)提供了極低的擁有成本，適用于半導體，化合物半導體和相關行業(yè)。 P-170可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。


   該系統(tǒng)結合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩(wěn)定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能，程序設置簡便快速。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法，可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。


主要功能

  •       臺階高度：幾納米至1000μm

  •       微力恒力控制：0.03至50mg

  •       樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

  •       視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機

  •       圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

  •       軟件：簡單易用的軟件界面

  •       生產(chǎn)能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化

  •       晶圓機械傳送臂：自動加載75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如藍寶石）樣品


主要應用

  •       臺階高度：2D和3D臺階高度

  •       紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

  •       形狀：2D和3D翹曲和形狀

  •       應力：2D和3D薄膜應力

  •       缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌


工業(yè)應用

  •       半導體

  •       化合物半導體

  •       LED：發(fā)光二極管

  •       MEMS：微機電系統(tǒng)

  •       數(shù)據(jù)存儲

  •       汽車

  •       還有更多：請與我們聯(lián)系以滿足您的要求








關鍵詞：輪廓儀 傳感器
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