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SPI Module ™ 離子濺射儀/噴碳儀

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應(yīng)用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品噴鍍的離子濺射儀/噴碳儀與普通電源、真空控制基座組成一個(gè)有機(jī)的整體·濺射儀(噴金儀)和噴碳儀合二為一,提高了整機(jī)的性價(jià)比!·操作便利的長(zhǎng)形工作臺(tái)有效地節(jié)省了空間

詳細(xì)介紹

應(yīng)用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品噴鍍的離子濺射儀/噴碳儀與普通電源、真空控制基座組成一個(gè)有機(jī)的整體


·       濺射儀(噴金儀)和噴碳儀合二為一,提高了整機(jī)的性價(jià)比!

·       操作便利的長(zhǎng)形工作臺(tái)有效地節(jié)省了空間。

·       方便地升級(jí)到更高的性能。

·       貴金屬低溫濺射鍍膜——提高的陰極設(shè)計(jì)。

·       快速鍍膜時(shí),20秒內(nèi),金厚度可達(dá)到200A,——對(duì)敏感樣品無(wú)熱損耗。

·       樣品室:高5"(127mm) x 外徑4"(102mm)。

·       各種形狀、尺寸的樣品都能均勻鍍膜,無(wú)需膜厚測(cè)控儀。

·       安全聯(lián)動(dòng)裝置——確保真空時(shí)才具有高電壓。

·       連續(xù)可動(dòng)的樣品臺(tái)——輕易地調(diào)節(jié)樣品和陰極間的距離。

·       經(jīng)濟(jì)的運(yùn)作——金屬低消耗。

·       高機(jī)動(dòng)性——緊湊的設(shè)計(jì)使之能方便地易地移動(dòng)。

·       指狀排氣真空控制——高質(zhì)量的針閥。

·       背面設(shè)計(jì)的惰性氣體進(jìn)出口。

·       標(biāo)準(zhǔn)的水冷樣品臺(tái)。

·       快速設(shè)置的陰極裝置——的產(chǎn)量和最短的樣品轉(zhuǎn)換時(shí)間。

·       模塊化的濺射鍍膜機(jī)可增加鍍碳模塊,提高了整機(jī)的性價(jià)比,整個(gè)系統(tǒng)成本大大降低。

·       一年保質(zhì)期。

 


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