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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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更新時(shí)間：2022-09-09 15:41:28瀏覽次數(shù)：195次

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產(chǎn)品簡介

VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），控制面板采用觸摸屏模式，基片極限尺寸為2″，放置樣品的直徑為?50mm，加熱溫度達(dá)500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材，不可以濺射輕金屬和碳。本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺(tái)，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜，適用于實(shí)驗(yàn)室制備復(fù)膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設(shè)備進(jìn)行控制，操作方便直觀。該機(jī)設(shè)備小巧，占用實(shí)驗(yàn)室空間少，操作簡單，應(yīng)用廣泛。因此被廣泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實(shí)驗(yàn)室中。

關(guān)鍵詞：離子濺射儀

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