Gaertner Scientific Corporation
Gaertner stokes 微點(diǎn)橢偏儀LSE-MS
Gaertner stokes microspot ellipsometer LSE-MS
LSE-MS微點(diǎn)系統(tǒng)
與上面可選的LRS 6英寸線性x 360°旋轉(zhuǎn)平臺(tái)一起顯示
stokes微點(diǎn)橢圓儀LSE-MS描述
具有15微米的測量激光束直徑，手動(dòng)XY千分尺定位臺(tái)和用于查看PC上測量區(qū)域的照相機(jī)。可以測量小至15 X 45微米的面積。該裝置簡單而堅(jiān)固的設(shè)計(jì)提供了易用性和瞬時(shí)測量功能，是過度復(fù)雜的橢圓儀的受歡迎替代方案。
LSE-MS橢圓儀使用*的StokesMeter™技術(shù)（曾榮獲Photonics Spectra和R＆D 100新產(chǎn)品獎(jiǎng)），它沒有運(yùn)動(dòng)部件，也沒有調(diào)制器，可以快速準(zhǔn)確地確定入射角為70°的6328?激光測量光束的完整偏振態(tài)。激光光源具有足夠的光強(qiáng)度，以提高吸收膜和粗糙散射膜的測量精度。激光源還具有光譜精確，穩(wěn)定和持久的優(yōu)勢。它們的使用可以在光學(xué)器件，檢測器和其他組件中實(shí)現(xiàn)的儀器設(shè)計(jì)，從而可以進(jìn)行高度精確的測量。節(jié)省空間的設(shè)計(jì)占地面積小，但可容納300mm寬的大型樣品。
高速薄膜厚度測量系統(tǒng)可在不到一秒鐘的時(shí)間內(nèi)完成測量！
特征
，無移動(dòng)部件的高級StokesMeter™ 測量頭。
測量極化的完整狀態(tài)，以提高準(zhǔn)確性。
使用光譜精確的激光橢偏儀進(jìn)行準(zhǔn)確，穩(wěn)定的測量。
的薄膜測量儀器。
免傾斜，免聚焦，免提操作，適用于類似晶片。
簡單，緊湊的臺(tái)式儀器-價(jià)格具有競爭力。
gaertner橢偏儀測量程序LGEMP說明
LGEMP Windows軟件用途廣泛，可以測量單層膜（例如氧化物，氮化物和光致抗蝕劑）以及已知的1、2或3層堆棧的頂層，例如在氧化物上的多晶和在多晶上的氧化物在氧化物上。單層有機(jī)膜是LSE模型的精度和穩(wěn)定性的應(yīng)用。
“文件處理程序"可以保存和快速檢索常用的測量設(shè)置參數(shù)。可以將四個(gè)用戶定義的設(shè)置文件分配給一個(gè)步驟的“按即走"快捷按鈕，以快速訪問不同的測量設(shè)置。
LGEMP程序中的放大PSI-Delta映射允許對薄膜模型進(jìn)行理論上的“假設(shè)"類型模擬；對電影模型有更深入的了解。頂層薄膜厚度T1（粉紅色線），折射率Nf1（紅線），吸收Kf1（棕線），Y（黃線）， D（綠線），左側(cè)帶有可移動(dòng)滑塊，可迅速顯示變化的影響模型參數(shù)對薄膜折射率的分辨率和可測量性。淺綠色線是恒定膜折射率Nf1的線。白線是Autofix Nf1的區(qū)域，在該區(qū)域中無法輕松解析索引。
stokesmeter™技術(shù)的說明
這種*的設(shè)備無需移動(dòng)部件，也不需要調(diào)制器，可以快速，準(zhǔn)確地確定測量光束的完整偏振狀態(tài)。
上圖顯示了用于同時(shí)測量所有四個(gè)Stokes光參數(shù)的StokesMeter™光旋光儀。待確定其偏振狀態(tài)的光束以傾斜的入射角連續(xù)入射三個(gè)光電探測器表面，每個(gè)光電探測器表面均被部分光譜反射，并且每個(gè)光電探測器表面均產(chǎn)生與光電探測器的分?jǐn)?shù)成比例的電信號。它吸收的輻射。第四光電探測器基本上吸收光，并檢測其余的光。這樣形成的四個(gè)輸出形成一個(gè)4x1信號矢量I，它與輸入斯托克斯矢量 S線性相關(guān)，即I = AS。所以，小號通過獲得S =甲（-1）予。4x4儀器矩陣 A必須是非奇異的，這要求前三個(gè)檢測器表面的入射平面都不同。對于給定的四個(gè)檢測器布置，可以通過校準(zhǔn)來計(jì)算或確定A。
技術(shù)優(yōu)勢
簡單，緊湊的 StokesMeter™ 取代了由鼓，棱鏡，編碼器，開關(guān)，電動(dòng)機(jī)和檢測器及其相關(guān)電子設(shè)備組成的典型旋轉(zhuǎn)分析儀組件。此外，消除了偏振器臂上的波片機(jī)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)了快速，精確，無移動(dòng)的橢圓偏振儀。
斯托克斯（Stokes）橢圓儀的一項(xiàng)杰出功能是對由于樣品不平整而導(dǎo)致的角射束偏差的微小變化進(jìn)行了補(bǔ)償；這樣就可以在整個(gè)晶圓表面上進(jìn)行快速，連續(xù)的測量，而無需暫停以校正聚焦和傾斜。。
LSE-MS斯托克斯橢圓儀非常精確和穩(wěn)定，在基本的復(fù)雜橢圓儀中是的價(jià)值。LSE-MS型橢偏儀附帶LGEMP Windows™軟件，USB電纜，XY樣品臺(tái)和參考晶圓。它通過2個(gè)USB 2.0端口連接到Windows™PC或筆記本電腦。
LSE-MS可以配備以下選項(xiàng)：
可選的線性旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)LRS 6英寸線性和360度旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)代替了標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)
可選的WIN 10便攜式PC，
帶有預(yù)裝的驅(qū)動(dòng)程序以及軟件和安全電纜 可選的Stokes校準(zhǔn)套件L118-KIT 使用4個(gè)Gaertner可追溯晶片加2美元玻璃（L118G-KIT）或 4個(gè)NIST可追溯晶片加玻璃$ 3.5 K 重新校準(zhǔn)任何Stokes橢偏儀。L118N-KIT）。 中號OST用戶將 不需要橢偏儀校準(zhǔn)。適用于具有極其嚴(yán)格的公差和法規(guī)遵從用戶的的半導(dǎo)體制造商。斯托克斯
橢圓儀LSE-MS規(guī)格
| 對準(zhǔn)： | 使用計(jì)算機(jī)校準(zhǔn)屏幕手動(dòng)調(diào)整傾斜度和工作臺(tái)高度。 |
| 相機(jī) | 在PC上顯示測量區(qū)域 |
| 入射角： | 70度 |
| 測量方法： | *的StokesMeter無需移動(dòng)部件和調(diào)制器，只需4個(gè)固定式硅探測器，即可確定完整的測量光束偏振，因此測量是穩(wěn)定且精確的。 |
| 測量時(shí)間： | 實(shí)際上是瞬時(shí)的 |
| 測量激光： | 6328?HeNe氣體激光器，測量光束直徑為15 x 45 um |
| 對準(zhǔn)激光： | 670nm激光二極管 |
| 樣品（晶圓）尺寸： | 接受300毫米寬X無限長度 |
| 階段： | XY手定位具有傾斜度和工作臺(tái)高度調(diào)節(jié)。 |
| 軟件： | 包括Windows™LGEMP 4層吸收程序。 |
| 所需計(jì)算機(jī)： | 具有2個(gè)USB 2.0端口（不包括）的Windows™臺(tái)式機(jī)或筆記本電腦。 |
| 膜厚范圍： | 基板上，1、2、3或4個(gè)已知子層上的0-60,000埃。 |
| 精度和重復(fù)性： | 在大多數(shù)測量范圍內(nèi)低于亞埃。 |
| 折光率： | 在大多數(shù)測量范圍內(nèi)為±0.0005。 |
| 功率： | 100V-240V，50-60Hz。1個(gè) |
| 尺寸圖 | 高度：16.5寬度：27.5深度：16英寸
凈重：45磅。運(yùn)輸重量：65磅。 |
| CDRH合規(guī)性： | 蓋特納（Gaertner）提供的所有激光橢圓儀均符合CDRH要求21CFR 1040，用于發(fā)出小于1 mW的II類激光產(chǎn)品或小于5 mW的IIIb類激光產(chǎn)品。與任何明亮的光源（例如太陽燈或弧光燈）一樣，操作員不得直接凝視激光束或從高反射表面反射激光束。 |
| CE合規(guī)性： | 斯托克斯橢偏儀符合歐洲安全指令并帶有CE標(biāo)志。 |
| 保證： | 1年保修涵蓋所有零件和人工，不包括運(yùn)輸費(fèi)用 |
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