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激光橢偏儀

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激光橢偏儀

詳細(xì)介紹

多角度激光橢偏儀SE 400adv

亞埃精度

穩(wěn)定的氦氖激光器保證了0.1埃精度的超薄單層薄膜厚度測(cè)量。

擴(kuò)展激光橢偏儀的極限

性能優(yōu)異的多角度手動(dòng)角度計(jì)和角度精度*的激光橢偏儀允許測(cè)量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。

高速測(cè)量

我們的激光橢偏儀SE 400adv的高速測(cè)量速度使得用戶可以監(jiān)控單層薄膜的生長(zhǎng)和終點(diǎn)檢測(cè),或者做樣品均勻性的自動(dòng)掃描。

結(jié)合橢偏反射CER的SE 500adv

厚度確定

橢偏測(cè)量和反射測(cè)量的結(jié)合允許通過(guò)自動(dòng)識(shí)別循環(huán)厚度周期來(lái)快速且明確地確定透明膜的厚度。

寬的測(cè)量范圍

激光橢偏儀和反射儀的結(jié)合將透明薄膜的厚度范圍擴(kuò)展到25μm,更多地取決于光度計(jì)的選項(xiàng)。

擴(kuò)展激光橢偏儀的極限

性能優(yōu)異的多角度手動(dòng)角度計(jì)和角度精度*的激光橢偏儀允許測(cè)量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。

關(guān)鍵詞:橢偏儀
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