特色
紅外加熱式熱脫附質(zhì)譜儀TDS1200Ⅱ是利用質(zhì)譜儀在超高真空中，通過程序升溫實(shí)時(shí)觀察樣品脫附逸出的化合物。由于在超真空中量測(cè)，即使微量的水、氫、CO2，也可以被檢測(cè)，對(duì)于從樣品中脫附的分子，可以定性及定量化學(xué)物質(zhì)。還可以獲得脫附氣體的吸收/結(jié)合狀態(tài)和擴(kuò)散過程等信息。適用于容易進(jìn)行紅外線加熱的測(cè)量，例如薄膜樣品和具有薄片形式的樣品。
Load Lock Chamber樣品預(yù)載腔體
Load Lock Chamber樣品預(yù)載腔體是實(shí)現(xiàn)高靈敏度、高效率(高通量)測(cè)量的關(guān)鍵技術(shù)。我們的傳送腔體和樣品轉(zhuǎn)移機(jī)制，可以在超高真空下僅將樣品快速插入分析室。 如果沒有預(yù)載腔體，則每次更換樣品時(shí)都必須將分析室暴露在大氣之下。分析室暴露于大氣之下會(huì)吸入大量空氣(主要是水)，需要長(zhǎng)時(shí)間抽真空才能恢復(fù)到合適的真空度。
紅外線加熱方式 Load Lock Chamber樣品預(yù)載腔體是實(shí)現(xiàn)高靈敏度、高效率(高通量)測(cè)量的關(guān)鍵技術(shù)。我們的傳送腔體和樣品轉(zhuǎn)移機(jī)制，可以在超高真空下僅將樣品快速插入分析室。 如果沒有預(yù)載腔體，則每次更換樣品時(shí)都必須將分析室暴露在大氣之下。分析室暴露于大氣之下會(huì)吸入大量空氣(主要是水)，需要長(zhǎng)時(shí)間抽真空才能恢復(fù)到合適的真空度。
對(duì)于熱脫附分析中，在加熱樣品時(shí)，不加熱分析室或分析室內(nèi)部的部件是非常重要。如果TDS 在分析期間加熱腔室，則很難區(qū)分從樣品中熱脫附的氣體和從腔室中熱脫附的氣體。 TDS1200II通過石英棒引入的紅外輻射直接加熱樣品，即使在高溫范圍內(nèi)也能抑制背景水平的增加，從而提供高靈敏度測(cè)量。
QMS游離腔 為了以高靈敏度檢測(cè)熱脫附的氣體，QMS游離腔直接設(shè)計(jì)在樣品上方。樣品正上方的位置利于樣品熱脫附的氣體直接到達(dá)QMS游離腔，從而能高度靈敏地檢測(cè)易于沉積的金屬或高分子量的有機(jī)化合物。
定量脫附的氣體 數(shù)據(jù)處理軟件可以對(duì)脫附氣體進(jìn)行定量分析，需要定期校準(zhǔn)質(zhì)譜儀的靈敏度。一般使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行靈敏度校準(zhǔn)需要準(zhǔn)備與氣體類型相同的昂貴標(biāo)準(zhǔn)品，并且校準(zhǔn)過程需要花費(fèi)大量時(shí)間。此外，當(dāng)使用標(biāo)準(zhǔn)泄漏有毒氣體時(shí)，安全衛(wèi)生控制也更加嚴(yán)格。與標(biāo)準(zhǔn)泄漏校準(zhǔn)方法相比，ESCO當(dāng)前的離子電流量化程序可以快速、簡(jiǎn)單、安全地量化逸出氣體。通過定期測(cè)量ESCO的 NIST可追溯氫標(biāo)準(zhǔn)樣品，即可以獲得高精度的結(jié)果。即使對(duì)氫氣以外的氣體也能進(jìn)行靈敏度校正，并且已證實(shí)與AIST國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)泄漏校正的定量結(jié)果非常吻合。
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 真空壓力 | 主腔體 <5*10-7 |
| 樣品尺寸 | 15*15*4 mm |
| 溫度范圍 | 50-1200℃ |
| 升溫速率 | 1-180℃/min |
| 偵測(cè)器 | QMS |
| 感度 Ar | 1*1011 Ar/s (S/N=3) |
| 軟件 | TDS measurement, Data Viewer, Quick CSV |
?熱附脫質(zhì)譜TDS應(yīng)用硅晶圓逸散氣體分析
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