高周波加熱式熱脫附質(zhì)譜儀IH-TDS1700是在超高真空中通過(guò)電磁感應(yīng)加熱樣品，以四極質(zhì)譜儀（QMS）實(shí)時(shí)觀察從樣品中熱脫附(熱吸解)氣體分子。樣品在超高真空，背景低環(huán)境下，大幅抑制大氣和產(chǎn)生的氣體引起的副反應(yīng)的影響，大幅提測(cè)量高靈敏度，在理想條件下觀察從樣品中脫附的分子。加熱效率高的金屬樣品可加熱到1700°C以上。此外，還可以對(duì)鋼中的擴(kuò)散氫進(jìn)行低溫TDS測(cè)量，這是鋼材氫脆的一個(gè)因素。

Load Lock Chamber樣品預(yù)載腔體是實(shí)現(xiàn)高靈敏度、高效率(高通量)測(cè)量的關(guān)鍵技術(shù)。我們的傳送腔體和樣品轉(zhuǎn)移機(jī)制，可以在超高真空下僅將樣品快速插入分析室。如果沒(méi)有預(yù)載腔體，則每次更換樣品時(shí)都必須將分析室暴露在大氣之下。分析室暴露于大氣之下會(huì)吸入大量空氣(主要是水)，需要長(zhǎng)時(shí)間抽真空才能恢復(fù)到合適的真空度。

IH-TDS1700可測(cè)量冷卻的鋼樣品，在低溫下擴(kuò)散氫而不會(huì)逸出，因此可以高精度量測(cè)氫擴(kuò)散系數(shù)大的BCC鋼。霜粘附在冷卻的鋼樣品上時(shí)，霜的脫附會(huì)影響氫信號(hào)，導(dǎo)致擴(kuò)散氫量出現(xiàn)誤差（增加不確定性）。IH-TDS1700 的冷卻阱（選件）通過(guò)捕獲霜來(lái)限度地減少霜的影響，從而可以獲得失真很小的擴(kuò)散氫解吸光譜。

數(shù)據(jù)處理軟件可以對(duì)脫附氣體進(jìn)行定量分析，需要定期校準(zhǔn)質(zhì)譜儀的靈敏度。一般使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行靈敏度校準(zhǔn)需要準(zhǔn)備與氣體類型相同的昂貴標(biāo)準(zhǔn)品，并且校準(zhǔn)過(guò)程需要花費(fèi)大量時(shí)間。此外，當(dāng)使用標(biāo)準(zhǔn)泄漏有毒氣體時(shí)，安全衛(wèi)生控制也更加嚴(yán)格。與標(biāo)準(zhǔn)泄漏校準(zhǔn)方法相比，ESCO當(dāng)前的離子電流量化程序可以快速、簡(jiǎn)單、安全地量化逸出氣體。通過(guò)定期測(cè)量ESCO的 NIST可追溯氫標(biāo)準(zhǔn)樣品，即可以獲得高精度的結(jié)果。即使對(duì)氫氣以外的氣體也能進(jìn)行靈敏度校正，并且已證實(shí)與AIST國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)泄漏校正的定量結(jié)果非常吻合。