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更新時(shí)間：2024-04-27 07:13:38瀏覽次數(shù)：129次
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EVG HerculesNIL是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、冷卻等工藝的全自動(dòng)大型紫外納米壓印工藝平臺(tái)，應(yīng)用于AR/VR中的光學(xué)設(shè)備、3D傳感器、生物醫(yī)療設(shè)備、納米光學(xué)和等離子學(xué)研究。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·支持包括3D在內(nèi)的各種結(jié)構(gòu)尺寸形狀
·可做200mm和300mm晶圓的橋接
·分辨率可達(dá)40nm（取決于模版和工藝條件）
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