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更新時(shí)間：2024-04-27 07:19:20瀏覽次數(shù)：592次
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EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備，可針對(duì)壓印、光刻、對(duì)準(zhǔn)功能進(jìn)行快速轉(zhuǎn)換。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持6英寸（150mm）晶圓
·分辨率可達(dá)40nm（取決于模版和工藝條件）
·支持汞燈或的UV-LED光源
·可選配功能：
鍵合對(duì)準(zhǔn)
紅外對(duì)準(zhǔn)
納米壓印光刻（NIL）
微接觸印刷
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