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更新時(shí)間：2024-04-27 07:11:22瀏覽次數(shù)：134次
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EVG 520 HE是一款基于EVG520設(shè)備的半自動(dòng)熱壓印設(shè)備，適用于所有聚合物，可應(yīng)用于高質(zhì)量的納米圖形轉(zhuǎn)移。相比EVG 510 HE可提供更大的壓力。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持8英寸（200mm）晶圓
·自動(dòng)壓印并具有氣動(dòng)脫模功能
·壓力：100KN
·溫度：350℃（可選配至550℃）
·真空度：0.1mbar（可選配至10-5mbar）
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