說明：

此系統(tǒng)是卓立漢光推出的針對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行微操作、檢驗(yàn)的通用開發(fā)平臺(tái)。系統(tǒng)中包括：半導(dǎo)體晶圓裝夾單元、半導(dǎo)體晶圓對(duì)位單元、機(jī)器視覺單元和微操作機(jī)械手單元，配套有完整的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺軟件?？梢愿鶕?jù)客戶不同的需求，實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行裝夾、對(duì)位、轉(zhuǎn)印、清潔、檢驗(yàn)等功能。

半導(dǎo)體晶圓微操作、檢驗(yàn)設(shè)備特點(diǎn)：

• 系統(tǒng)包含完整的裝夾和對(duì)位結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)客戶實(shí)際需求定制
• 控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺系統(tǒng)留有二次開發(fā)接口
• 兼容客戶不同的晶圓結(jié)構(gòu)，不同的Mark點(diǎn)圖形、進(jìn)行不同的操作動(dòng)作
• 可對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行多維度微步調(diào)整
• 多工位配置，提高工作效率

系統(tǒng)參數(shù)：（本系列產(chǎn)品為設(shè)計(jì)規(guī)格，技術(shù)指標(biāo)以最終發(fā)布內(nèi)容為準(zhǔn)）