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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

Freiberg XRD--SDCOM--小晶體樣品臺(tái)式X射線單晶定向儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)
  • 更新時(shí)間2024/4/2 17:41:23
  • 訪問次數(shù)244
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布魯克 micro-CT
在晶圓片的注入和光刻過程中,需要平面或凹槽作為定位標(biāo)記。切割過程中,晶片必須正確地對(duì)準(zhǔn)晶圓片上易于切割的晶格面。因此,檢查平面或缺口的位置至關(guān)重要。
Freiberg XRD--SDCOM--小晶體樣品臺(tái)式X射線單晶定向儀 產(chǎn)品信息
技術(shù)特點(diǎn)

l 能夠測(cè)量小至1mm的晶體到或更大的樣品

l 各種樣品架及輸送夾具,用于線鋸、拋光等

l 側(cè)晶方向標(biāo)記選項(xiàng)

l 無水冷卻

l **精度:0.01°(視晶體質(zhì)量而定)

l 確定單晶的晶格取向

l 使用Omega掃描方法的超高速晶體定位測(cè)量

l 氣冷式X射線管,無需水冷

l 適合于研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制

l 手動(dòng)操作(沒有自動(dòng)化選項(xiàng))



可測(cè)量材料的例子

? 立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP 

        

? 立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3

 

? 正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4

 

? 六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(藍(lán)寶石),GaPO4, La3Ga5SiO14

 

? 斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3

 

? 可根據(jù)客戶的要求進(jìn)一步選料


平面方向的標(biāo)記和測(cè)量

 

在晶圓片的注入和光刻過程中,需要平面或凹槽作為定位標(biāo)記。切割過程中,晶片必須正確地對(duì)準(zhǔn)晶圓片上易于切割的晶格面。因此,檢查平面或缺口的位置至關(guān)重要。

 

為了確定平面或缺口的位置,就需要測(cè)量平面內(nèi)的部件。由于Omega掃描法可以在一次測(cè)量中確定完整的晶體方位,基于此,便可以直接識(shí)別在平面方向或檢查方向的單位或缺口。

 

DDCOM通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤,可以將任何平面方向轉(zhuǎn)換成用戶的特定位置。在必須定義平面方向的情況下,這可以**簡(jiǎn)化將標(biāo)記應(yīng)用到特定平面方向的過程。


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