一、SM-150勻膠機(jī)產(chǎn)品概述：

SM-150旋涂機(jī)是一款手動(dòng)或半自動(dòng)薄膜涂覆的高性能勻膠機(jī)，它的優(yōu)點(diǎn)在于具有令人信服的高度涂膜均勻性和工藝重復(fù)性，并且操作簡單、使用舒適。市面上的光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆到尺寸為 150mm (6") 127x127mm (5"x5")的基板上。旋涂工藝腔設(shè)計(jì)的直徑為176mm，為了使花費(fèi)在旋涂工藝腔清潔上的精力最小化，SAWATEC公司開發(fā)了一種極其實(shí)用且經(jīng)濟(jì)的工藝腔保護(hù)碗。工藝結(jié)束后，可以簡單地移除和清理這種保護(hù)碗。經(jīng)由如此的高品質(zhì)設(shè)計(jì)，也可以將維護(hù)成本最小化。因此，SAWATEC勻膠機(jī)可被優(yōu)先應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室，研發(fā)，試產(chǎn)項(xiàng)目以及研究所。

二、SM-150勻膠機(jī)基本功能和技術(shù)參數(shù)：

（1）適用基材類型：晶圓片、硅片、玻璃片等表面結(jié)構(gòu)、厚度不大的基材；（防止基板太厚不能合上蓋子）

（2）適用基材尺寸：小碎片至150mm (6英寸) 直徑圓片或者127x127mm (5英寸x5英寸)方片；

（3）可編程設(shè)置多達(dá)50條程序(每條程序包含24個(gè)程序段)；

（4）旋轉(zhuǎn)速度：0 到 10,000rpm （+/-1rpm）

（5）旋轉(zhuǎn)加速度：0–8,000rpm 為0.8秒；0–10,000rpm為1秒 。（空載時(shí)）

（6）旋轉(zhuǎn)減速度：10,000rpm-0 為2.5秒；8,000rpm-0 為0.8秒 。（空載時(shí)）

（7）工藝時(shí)間：每個(gè)程序段的給膠時(shí)間為 0~99秒，總的工藝時(shí)間可為0~2376秒；

（8）3.5英寸彩色顯示屏的觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置；

（9）旋轉(zhuǎn)方向 ：順時(shí)針、逆時(shí)針；

（10）手動(dòng)裝卸基材，通過真空和安全互鎖保護(hù)來固定基材；

（11）手動(dòng)蓋子帶有空氣入口和閉合安全保護(hù)；

（12）工藝結(jié)束時(shí)有聲音信號(hào)；

三、選配項(xiàng)：

（1）半自動(dòng)式50毫升管式滴膠系統(tǒng)，帶有手動(dòng)給膠手臂和回吸功能；

（2）旋涂工藝腔的氮?dú)獯祾撸?/span>

（3）用于簡化操作的“啟動(dòng)/停止"腳踏開關(guān)(電纜長度 1.8m)；

（4）經(jīng)陽極氧化鋁電鍍處理制成旋涂工藝腔；

（5）鋁制或 PE(聚乙烯)材料制成的工藝腔保護(hù)碗（內(nèi)襯）；

（6）晶圓對(duì)準(zhǔn)工具 2~6英寸(適用圓形基材)；

（7）勻膠機(jī)吸盤（chuck）：為了達(dá)成良好的涂覆效果，我們提供了不同尺寸、材料和設(shè)計(jì)的。根據(jù)用途的不同，可使用單塊一體式結(jié)構(gòu)勻膠機(jī)吸盤或具有光學(xué)輔助置中功能的兩部分構(gòu)成的勻膠機(jī)轉(zhuǎn)接托盤。勻膠機(jī)吸盤的安裝、更換過程非常簡單，不需要使用工具。

四、設(shè)計(jì)和尺寸：

（1）桌上式版本 ：SM -150-BT

（2）內(nèi)嵌式版本： SM-150-BM

（3）緊湊且節(jié)省空間的結(jié)構(gòu)形式；

（4）POM(聚甲醛樹脂)材料制成的工藝碗，確保了高材料兼容性；

（5）POM(聚甲醛樹脂)材料制成的集成式防濺環(huán)，確保無光刻膠濺出；

（6）透明蓋板：玻璃制成；

（7）具有高精度旋轉(zhuǎn)電機(jī)：

（8）經(jīng)電解拋光處理的不銹鋼外殼；

（9）外殼(桌面版): 350 x 510 x 403mm (長*寬*高）

（10）重量(桌面版): 約 29kg

（11）控制器模塊(內(nèi)嵌版): 300 x 300 x 368mm (長*寬*高）

（12）控制器面板(內(nèi)嵌版): 320 x 166 x 50mm（長*寬*高）

（13）重量(內(nèi)嵌版): 約 20kg

五、接口：

（1）電源：230 VAC  50/60Hz  10A

（2）腳踏開關(guān)用插頭接口；

（3）真空接口：

（4）CDA接口：

（5）排放接口 ?12mm

（6）桌面版廢氣接口 ?38mm ；內(nèi)嵌版廢氣接口 ?25mm；