| 品牌 | 其他品牌 | 適用基片尺寸 | 150毫米直徑圓片/5英寸方片 |
|---|---|---|---|
| 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速范圍 | 100~12000RPM | 旋轉(zhuǎn)加速度 | 12000RPM/S |
| 轉(zhuǎn)速精度 | 小于0.2rpm | 外殼材質(zhì) | NPP(天然聚丙烯） |
一、Laurell 650勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
采用NPP外殼材質(zhì)，PLC控制，速度可調(diào)節(jié)，在啟動(dòng)之后一般工藝先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)使膠攤開(kāi)，然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn)，步驟轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)；
二、Laurell 650勻膠機(jī)WS-650Mz-23NPPB技術(shù)參數(shù)：
1、腔體尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑圓片，方片125x125mm；
3、轉(zhuǎn)動(dòng)速度：100-12,000rpm，
4、旋涂加速度：1-12000rpm/sec（空載）；
5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差<± 1 %；
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度：<0.2rpm，重復(fù)性< 0.2rpm；
7、工藝時(shí)間設(shè)定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；
8、勻膠機(jī)材質(zhì)：NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方；
9、高 精 度 數(shù) 碼控制器：PLC控制，設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。
10、程序控制：可存儲(chǔ)20個(gè)程序段，每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；
11、分辨率：分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）認(rèn)證;
12、配套真空泵系統(tǒng)：無(wú) 油 型 220~240伏交流，50/60赫茲；
