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Tergeo-plus 等離子清洗機(jī)

參考價	￥ 40
訂貨量	≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
品牌
型號
所在地香港特別行政區(qū)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時間2020/1/8 12:47:10
訪問次數(shù)913

產(chǎn)品標(biāo)簽:

等離子清洗機(jī)性能等離子清洗機(jī)型號等離子清洗機(jī)款式等離子清洗機(jī)用途供應(yīng)等離子清洗機(jī)

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公司介紹主營產(chǎn)品

First-Nano System GmbH

2003年創(chuàng)立于德國德累斯頓工業(yè)大學(xué)（Dresden University of Technology）

2008年香港成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司

2015年上海成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司中國代表處，負(fù)責(zé)中國區(qū)業(yè)務(wù)

德國韋氏納米系統(tǒng)成立以來，一直為客戶想的更多，Thinking more ！！！

產(chǎn)品范圍：

薄膜沉積/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma
- Wet: Megasonic, Brush, SC1, SC2, Piranha, O3DIW
其他/Other,
Device Testing System for Space Simulation, Heated Platens, Plasma Sources, Resist Stripping Systems

展開顯示更多內(nèi)容

清洗機(jī)，分析儀

產(chǎn)品簡介在線詢價

Tergeo-plus 等離子清洗機(jī)清洗方式：沉浸式等離子清洗可以高速刻蝕和表面改性；遠(yuǎn)程等離子體可以輕微的清除表面污染，如SEM、TEM樣品清洗；

Tergeo-plus 等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品信息

Tergeo-plus 等離子清洗機(jī)特征:

清洗方式：沉浸式等離子清洗可以高速刻蝕和表面改性；遠(yuǎn)程等離子體可以輕微的清除表面污染，如SEM、TEM樣品清洗；脈沖放電后產(chǎn)生等離子體的平均功率小于0.5watt，可以處理極精致樣品。
操作方法：自動配方執(zhí)行；自動作業(yè)順序執(zhí)行；亦可手動操作。
等離子傳感器：雙等離子強(qiáng)度傳感器（申請中）監(jiān)測現(xiàn)場等離子源和遠(yuǎn)程等離子源。等離子強(qiáng)度實時顯示在LCD觸摸屏上。
*工藝控制能力：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC氣體流量計、雙等離子強(qiáng)度傳感器、自動阻抗匹配。
腔體材料：鋁法蘭，石英腔體
石英腔體尺寸：內(nèi)徑：160mm；外徑170mm；深度280mm
樣品架：2mm厚高純度石英板
射頻天線：外部射頻電極和天線設(shè)計減少了內(nèi)部金屬電極在等離子清洗機(jī)中發(fā)現(xiàn)的金屬濺射問題。
射頻功率：13.56mhz高頻射頻電源，自動原位等離子體源的阻抗匹配。射頻功率有兩種選擇：0-75watt和0-150watt。13.56MHz的射頻電源產(chǎn)生比兆聲電源產(chǎn)生高濃度等離子體。
工藝氣路：高達(dá)三個質(zhì)量流量控制氣體輸入（0 ~ 100sccm）。一個額外的排氣口。¼英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。
用戶界面：7寸電阻式觸摸屏，觸摸的手指，沒有手寫筆的要求。
軟件：總共20個可定制的配方。每個工藝步驟多達(dá)三個清理步驟。