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大基片單晶圓全自動(dòng)兆聲清洗機(jī)

參考價(jià)	￥ 40
訂貨量	≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
品牌
型號(hào)LSC-5000LS
所在地香港特別行政區(qū)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時(shí)間2020/1/8 12:40:25
訪問次數(shù)566

產(chǎn)品標(biāo)簽:

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公司介紹主營產(chǎn)品

First-Nano System GmbH

2003年創(chuàng)立于德國德累斯頓工業(yè)大學(xué)（Dresden University of Technology）

2008年香港成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司

2015年上海成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司中國代表處，負(fù)責(zé)中國區(qū)業(yè)務(wù)

德國韋氏納米系統(tǒng)成立以來，一直為客戶想的更多，Thinking more ！?。?/p>

產(chǎn)品范圍：

薄膜沉積/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma
- Wet: Megasonic, Brush, SC1, SC2, Piranha, O3DIW
其他/Other,
Device Testing System for Space Simulation, Heated Platens, Plasma Sources, Resist Stripping Systems

展開顯示更多內(nèi)容

清洗機(jī)，分析儀

產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

大基片單晶圓全自動(dòng)兆聲清洗機(jī)技術(shù)的兆聲和清洗技術(shù)的發(fā)展，對(duì)MEMS和半導(dǎo)體等領(lǐng)域的晶圓和掩模版清洗提供了的水平，可以幫助用戶獲得zui干凈的晶圓片和掩模版。

大基片單晶圓全自動(dòng)兆聲清洗機(jī) 產(chǎn)品信息

技術(shù)的兆聲和清洗技術(shù)的發(fā)展，對(duì)MEMS和半導(dǎo)體等領(lǐng)域的晶圓和掩模版清洗提供了的水平，可以幫助用戶獲得zui干凈的晶圓片和掩模版。

German First Nano System提供兆聲大基片單晶圓全自動(dòng)兆聲清洗機(jī)用于*的無損兆聲清洗?？梢赃m用于易受損的帶圖案或無圖案的基片，包含帶保護(hù)膜的掩模版。為了在確保不損傷基片的情況下達(dá)到*化的清洗效果，兆聲能量的密度必須保持在稍稍低于樣片上任意位置上的損傷閾值。German Fisrt Nano System 技術(shù)確保了聲波能量均勻分布到整個(gè)基片表面，通過分布能量的zui大化支持的清洗，同時(shí)保證在樣片的損傷閾值范圍內(nèi)。

LSC-5000大基片單晶圓全自動(dòng)兆聲清洗機(jī)應(yīng)用：

濕法刻蝕
硅片
藍(lán)寶石片
圓框架上的芯片
顯示面板
ITO涂覆的顯示屏
帶保護(hù)膜的分劃版
掩模版空白部位
掩模版接觸部位
帶保護(hù)膜/不帶保護(hù)膜的掩模版
LSC-5000全自動(dòng)兆聲大基片濕法刻蝕系統(tǒng)的特點(diǎn)：

支持450mm直徑的圓片或15"x15"方片
帶兆聲、DI、刷子、熱DI、高壓DI、熱氮、化學(xué)試劑滴膠臂的大腔體
帶化學(xué)試劑滴膠的刷子轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)
帶LABVIEW軟件的PC全自動(dòng)控制
觸摸屏用戶界面
機(jī)械手上下載片，帶EFEM以及SMIF界面
安全互鎖及警報(bào)裝置
30"D x 26"W 的占地面積

關(guān)鍵詞：芯片