無塵車間工程是一個應用行業(yè)非常廣泛的基礎性配套產業(yè)，在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫(yī)療器械、生物制藥、手術室、化學、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應用，特別是以微電子、化學、為代表的行業(yè)，對于室內環(huán)境的要求*。室內生產環(huán)境是制約工業(yè)生產，特別是高科技生產能否進行的關鍵因素之一。那么常見的無塵車間類型有哪幾種呢？一起來了解一下。
 

　　一、無塵車間層流式
 

　　此種方式是根據(jù)空氣氣流運動成均勻的直線型，空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于無塵車間等級需定較高的環(huán)境使用，一般其無塵車間等級為Class1——100。
 

　　其型式可分為二種：
 

　　1.垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高的潔凈度，在生產過程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
 

　　優(yōu)點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
 

　　缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板的吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
 

　　2.水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
 

　　優(yōu)點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。
 

　　缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
 

　　二、無塵車間亂流式
 

　　此種方式是讓空氣通過空調箱經風管與無塵車間內的空氣過濾器(HEPA)進入無塵車間，并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。此型式適用于無塵車間等級1000-100000級。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。
 

　　優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本低，無塵車間的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。
 

　　缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活，欲達需求的潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。
 

　　三、無塵車間復合式
 

　　此種方式是將亂流式及層流式合并使用，可提供局部超潔凈的空氣。
 

　　1.裝局部無塵車間：將廣州無塵車間等級10000——100000的亂流無塵車間內的產品生產區(qū)潔凈度等級提高為10——1000級以上，以便滿足生產條件；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
 

　　2.凈管道：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量的送風即可得到良好的潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
 

　　3.凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將生產區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。此類型需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：①彈性擴充容易；②維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。