真空泵油在泵中起了密封、潤滑、冷卻和頂開排氣閥的作用，所以泵油參與了壓縮和摩擦，又減少了各零部件之間的摩擦。對(duì)于沒有設(shè)置油泵的滑閥泵，只要滑閥與泵蓋、中隔板之間的間隙適當(dāng)，泵的進(jìn)油量會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)。但如配有油泵，則油泵的流量必須經(jīng)過仔細(xì)計(jì)算，通常為(7~10)x10-4S(S為泵的抽速L/s)，如油量過大，進(jìn)入泵后將使真空泵變成油泵，不但壓縮功增加，而且摩擦損失急劇增加。

泵油的運(yùn)動(dòng)粘度隨溫度的變化很大，如某廠的V100油，40℃時(shí)粘度為104.62mm2/s,100℃時(shí)粘度為11.63mm2/s。所以在保證工作真空度的條件下，適當(dāng)?shù)奶岣弑脺兀瑢?duì)降低消耗功率是大有益處的，豪可德真空科技通過實(shí)驗(yàn)證明，把泵溫從50℃提高到70℃,消耗功率可降低7%,而且更有利于可凝性蒸氣的抽除，同時(shí)也減少了冷卻水消耗量。

真空泵油一般在-12℃就會(huì)凝固，故北方有些單位將泵置于室外工作是不可取的。這樣不但不利于泵的啟動(dòng)，而且泵在啟動(dòng)后的短時(shí)間內(nèi)，某些部位處于缺油或少油的狀態(tài)，容易造成泵的損壞。