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上海闊思電子有限公司-長沙辦事處作者
| 真空的定義及單位 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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真空的定義及單位 當(dāng)一個(gè)容器內(nèi)空間的壓力小於一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓力（atm）時(shí)即被定義為真空（Vacuum）。因?yàn)檎婵蘸蛪毫τ嘘P(guān)，因此真空度即代表真空系統(tǒng)中壓力的程度。意即較低的真空度表示較高的壓力，較高的真空度表示較低的壓力。另可用單位體積內(nèi)氣體分子密度來表示真空度；一標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體分子密度為 2.5× molecules/cm3，真空度越高，則單位體積內(nèi)的氣體分子密度越低。目前表示真空度的壓力單位以托耳（ Torr ） 以及國際壓力單位，帕Pascal （Pa） zui為常見，其定義為： 1atm=760mmHg=760Torr 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 :1pa=1N/m2 正排氣型泵浦 正排氣型泵浦屬於中低真空度的泵浦，其抽氣工作壓力範(fàn)圍可從一大氣壓到 Torr，有些機(jī)型甚至可到 Torr。正排氣型泵浦抽氣速率依泵浦大小及構(gòu)造從每分鐘數(shù)十公升到2、3萬公升不等，是中低真空系統(tǒng)中的主要泵浦。另外，正排氣型泵浦在高真空及超高真空系統(tǒng)中經(jīng)常扮演真空粗抽（Roughing）及前級泵浦（Backing Pump）的角色。正排氣型泵浦依泵浦腔室是否有液體潤滑和密封之分別，又可分為油（液）封式真空泵浦以及乾式泵浦兩大類： 油（液）封式真空泵浦」 油（液）封式真空泵依作動(dòng)方式不同又可分為旋轉(zhuǎn)式泵浦（Rotary Pump）及往復(fù)式泵浦（Reciprocating Pump）兩種。旋轉(zhuǎn)式泵浦係藉泵浦機(jī)殼內(nèi)轉(zhuǎn)子（Rotor） 和靜子（Stator）連續(xù)接觸進(jìn)行進(jìn)氣、壓縮及排氣行程。常見的泵浦有液（水）封式真空泵（ Liquid-ring Vacuum Pump）、油迴轉(zhuǎn)葉片型真空泵（ Oil-sealed Rotary-vane Vacuum Pump）、油迴轉(zhuǎn)滑動(dòng)葉片型真空泵（ Oil-sealed Sliding-vane Vacuum Pump）以及油迴轉(zhuǎn)柱塞型真空泵（Oil-sealed Rotary-plunger Vacuum Pump）等。往復(fù)式泵浦以馬達(dá)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)桿之旋轉(zhuǎn)，經(jīng)由連桿（Coupler）帶動(dòng)活塞在汽缸中做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，如本公司的VS、VSW型泵浦。除液封式真空泵以製程液體作為封液外，其他幾種真空泵浦都必須搭配真空油或潤滑油來從事潤滑、排熱、密封以及防蝕作用，因此油品的選用也關(guān)係到真空泵的性能表現(xiàn)。 「乾式真空泵浦」 乾式真空泵依機(jī)械結(jié)構(gòu)不同可分為魯式（Roots）、爪式（Claw）、螺旋式（Screw）、渦卷式（Scroll）以及薄膜式（Diaphragm）幾種。其中魯式泵浦在真空系統(tǒng)中廣泛用作助力泵浦（Booster Pump），可適度提高真空系統(tǒng)的抽氣效率。近年來由於半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的興起，半導(dǎo)體製程中真空系統(tǒng)的潔淨(jìng)度受到很大的重視，相較於油（液）封式真空泵在製程中有可能因油水氣回流造成污染問題，乾式真空泵在泵浦進(jìn)氣、壓縮、排氣行程中並無液體潤滑或密封，因此在維持真空系統(tǒng)潔淨(jìng)度上比油（液）封式真空泵的表現(xiàn)要好很多，而在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等被廣泛應(yīng)用，其中螺旋式真空泵本身在維修便利性及耗能表現(xiàn)上的優(yōu)勢，近來已漸成為市場的主流 |
關(guān)鍵詞：真空泵
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