用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱：主機(jī)）、測(cè)試架及四探針頭組成。

特點(diǎn)  
1、配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬(wàn)分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測(cè)全過(guò)程中的電流變化，使操作更簡(jiǎn)便，測(cè)量更精確。 
數(shù)字電壓表量程：0—199.99mV  靈敏度：10μV  輸入阻抗：1000ΜΩ 
                        基本誤差±（0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度） 
2、可測(cè)電阻率范圍：10—4 —1.9×104Ω·cm。 
     可測(cè)方塊電阻范圍：10—3 —1.9×105Ω/□。 
3、設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí)，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí)，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。 
4、流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定（萬(wàn)分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機(jī)測(cè)量精度＜3%。 
電流量程分五檔：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。 
5、儀器采用觸點(diǎn)電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開(kāi)頭及繼電器（＞10萬(wàn)次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。 
6、可加配電腦，使用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、存儲(chǔ),求平均值，zui大值、zui小值、zui大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。