470是溶解臭氧測量模塊，為半導(dǎo) 體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設(shè)計(jì)。它能 夠提供去離子水或硫酸中濃度高達(dá)150mg/L 的溶解臭氧測量。470已完成“預(yù)備清潔”， 能夠滿足高純度半導(dǎo)體過程的需求，并且可 簡單的直接拼接進(jìn)任何濕法處理的環(huán)流回路 中，最高支持150 SLPM的流量。 470型傳感器使用雙路取樣傳感技術(shù)，且擺脫了對(duì)參比液體測 量的需求。 通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包 裹的內(nèi)部連接電纜。470傳感器能夠通過模 擬或數(shù)字信號(hào)向濕法處理過程控制臺(tái)遠(yuǎn)程報(bào) 告測量的濃度。

技術(shù)指標(biāo)

測量原理 ：紫外吸收法，雙路取樣傳感技術(shù) 

紫外光源 ：低壓汞燈 

測量單位 ：ppmw, mg/L 

量程 ：高達(dá)150 mg/L (150 ppmw) 

精度 ：0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為準(zhǔn)） 

水流量 ：高達(dá)150 SLPM 

采樣端口 ：1”, 3/4”, 3/8” Flaretek 連接 

最大壓強(qiáng) ：55 PSI 

接觸材料 ：特氟龍, 藍(lán)寶石, 與半導(dǎo)體流程相容 

外殼 ：聚四氟乙烯特氟隆

尺寸 ：5.69” 寬 x 6.8” 高 x 3.2” 長 - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm) 

維護(hù)：紫外燈每24個(gè)月替換一次 無其他預(yù)定維護(hù) 

電纜：特氟龍外層 

電源：+15 VDC 

認(rèn)證：CE 認(rèn)證 

模擬輸出：4到20mA或0到5VDC，出廠時(shí)選擇 

數(shù)字 I/O：RS-232 或 RS485，出廠時(shí)選擇 

遠(yuǎn)程校零：通過DB15進(jìn)行遠(yuǎn)程零點(diǎn)校準(zhǔn)

產(chǎn)品特點(diǎn)

現(xiàn)場檢測

在線且全流量監(jiān)測

直線通過的流型

無移動(dòng)部件

無消耗品

測量范圍最高達(dá)150 mg/L

遠(yuǎn)程零點(diǎn)校準(zhǔn)

高精度紫外吸收法

雙光道采樣感應(yīng)技術(shù)

不需求日常維護(hù)

半導(dǎo)體級(jí)別濕式材料

緊湊的特氟龍外殼

特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜

應(yīng)用

液態(tài)溶解臭氧

半導(dǎo)體濕法清洗系統(tǒng)

超純水系統(tǒng)

制藥業(yè)

水處理

其他工業(yè)過程