渦輪泵分子泵顯示了一個超高真空系統(tǒng)，該系統(tǒng)在真空室和分子泵之間具有一個閥和一個冷阱。 粗抽管線和前級管線如圖3-23所示。 抽水系統(tǒng)是相同的。 分子泵的前級泵的尺寸與擴散泵的尺寸不同。 擴散泵的正常運行需要前級泵具有足夠的抽速，以確保在大排量時前級壓力低于擴散器的臨界前級壓力。 渦輪分子泵需要選擇具有足夠容量的前級泵，以便接近前級管的葉片在大排量時處于分子流狀態(tài)或僅處于過渡流狀態(tài)。 大多數(shù)分子泵的大穩(wěn)態(tài)入口壓力約為0.5?1Pa，大前級壓力P約為30Pa，因此分子泵在大排量（pm / p人）或前級時的壓縮比 泵的抽速與分子泵的抽速之比（S / S人）在30和60之間。對于前級管路中氫分壓低的系統(tǒng)，抽速比應(yīng)為20：  1.渦輪分子泵對諸如油脂的大分子具有較高的壓縮率。 它們屬于更清潔的真空泵（也稱為半無油泵）。

它們不需要液氮冷阱來防止軸承潤滑劑或機械泵的泵液倒流。 如圖所示，在真空室和分子泵之間安裝液氮捕集器的主要目的是提高系統(tǒng)對水蒸氣的抽吸速度，從而可以縮短烘烤脫氣時間。 出于相同的原因，渦輪分子泵系統(tǒng)不需要粗糙的泵阱和前級管道冷阱。 在粗抽過程中，需要100?1050Pa的切換壓力，可以有效地防止機械泵油通過粗抽管進入真空室。 渦輪分子泵對氫氣的壓縮比和前面的氫氣分壓是影響極限壓力的重要原因之一。 降低前面的氫氣壓力會增加渦輪分子泵的極限壓力。 高壓縮比的渦輪分子泵采用兩級旋片機械泵作為前級，極限壓力約為5×10-9Pa。 當(dāng)擴散泵用作前級泵時，可以增加到1×10-9Pa。 在泵之間增加了鈦吸附阱或液氮分子篩吸附阱，其極限壓力可低于10-9Pa。 它用于大流量渦輪分子泵泵送系統(tǒng)，例如蝕刻機等。對于氣體，當(dāng)入口壓力過高時，氣流的摩擦阻力會減慢轉(zhuǎn)速，從而迅速降低壓縮比 氫。 圖325是Hanlon給出的前級泵35m3 / h和Balzers給出的泵速400L / s的入口壓力和泵速的實驗曲線。 當(dāng)入口壓力增加到0.9Pa時，拐點出現(xiàn)在曲線上。 使用較大的前級泵，曲線的A部分將向右移動，反之亦然。 避免抽速下降的方法是在泵的入口處設(shè)置一個節(jié)流閥。 根據(jù)恒定泵送流量的原理，在保持真空室中所需的過程壓力的同時，分子泵仍處于全速低壓狀態(tài)。

上海振暢機電科技有限公司
地址：寶山區(qū)月羅公路2120號