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當(dāng)前位置:上海振暢機(jī)電有限公司>>技術(shù)文章>>萊寶真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)中的使用說明
萊寶真空泵是單極油封旋轉(zhuǎn)葉片泵。 泵本身具有止回油閥,氣鎮(zhèn)閥(可選),出口過濾器,回油管路和油冷卻回路。 泵由直接法蘭電機(jī)驅(qū)動。
安裝在萊寶真空泵體內(nèi)的偏心轉(zhuǎn)子具有三個葉片,這些葉片將泵分成三個隔室,每個隔室的容積會隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而周期性地變化。
當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,真空腔的進(jìn)氣部分的體積擴(kuò)大,并且氣體從進(jìn)氣口被吸入,氣體通過空氣過濾器元件,并且打開的止回閥進(jìn)入腔泵。 隨著轉(zhuǎn)子的進(jìn)一步旋轉(zhuǎn),葉片將泵腔部分與吸入口分開。 泵腔的體積減小,氣體被壓縮。 氣體以略高于大氣壓的壓力通過排氣閥從泵腔中排出。
當(dāng)泵注入泵腔時,油用于密封,潤滑和冷卻泵。 由于轉(zhuǎn)向,壓縮氣體夾帶的油在油箱中。 然后在出口油霧分離器中將其*過濾。 結(jié)果,廢氣中的油含量下降到可見水平以下。
萊寶真空泵真空設(shè)備在所有半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中都發(fā)揮著極其重要的作用。 對于特殊的生產(chǎn)要求,必須選擇合適的真空設(shè)備。
在過去的幾年中,為了*半導(dǎo)體行業(yè)的需求,我們縮短了產(chǎn)品開發(fā)周期,并更快地推出了新產(chǎn)品,從而大大提高了我們的服務(wù)質(zhì)量。
萊寶真空泵需要在真空下運行的分析儀器行業(yè)是真空設(shè)備市場中的供應(yīng)商之一。 這個市場包括各種設(shè)計的平面分析儀器,質(zhì)譜儀,電子顯微鏡和氦氣檢漏儀系列。
我們的產(chǎn)品種類繁多,適用于實驗室研發(fā)和*簡單的桌面操作。 一些關(guān)鍵性能參數(shù)顯示了萊寶真空泵,測量設(shè)備和部件的工作能力,緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計,*的技術(shù)水平和良好的穩(wěn)定性能。
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