汽化過氧化氫（VHP）滅菌器，是利用過氧化氫在常溫下氣體狀態(tài)更具殺孢子能力的優(yōu)點，經(jīng)生成游離的-OH，用于進攻細(xì)胞成分，包括脂類、蛋白質(zhì)和DNA，達到滅菌的要求的一種技術(shù)。常用于隔離室、隔離器等密閉空間的滅菌。

汽化過氧化氫滅菌，是利用過氧化氫在常溫下氣體狀態(tài)比液體狀態(tài)更具殺孢子能力的優(yōu)點，將液體H2O2汽化并快速生成為游離的氫氧基（HO--），用于進攻細(xì)胞成分，包括脂類、蛋白質(zhì)和DNA組織，破壞其結(jié)構(gòu)，達到滅菌的要求。
汽化過氧化氫滅菌器是將濃度為35%的H2O2溶液，即雙氧水通過汽化器汽化成過氧化氫蒸汽，然后通過等離子器將粒子變?yōu)闅怏wHO-，并通過管道輸送到空間進行消毒滅菌的設(shè)備。

等離子汽化過氧化氫滅菌器的生物除污過程可分為四個階段：

1.汽化階段：將輸入到汽化器中汽化成過氧化氫蒸汽，并通過風(fēng)機輸入到混合艙，等待處理；

2.等離子發(fā)生階段：將蒸汽狀態(tài)的過氧化氫引入至等離子發(fā)生艙中，將蒸汽過氧化氫轉(zhuǎn)化為等離子過氧化氫，并送入至滅菌艙中；

3.生物除污保持階段：繼續(xù)向滅菌艙輸入過氧化氫等離子體，直至達到預(yù)設(shè)的濃度（一般以生物試紙驗證濃度值為準(zhǔn)）開始計時，在預(yù)設(shè)的濃度之上保持30~35min，生物除污完成（經(jīng)驗證30min滅菌效率達到6-log），停止過氧化氫汽化和等離子化；

4.處殘留階段：氣路系統(tǒng)切換到處殘留裝置，汽化等離子體的過氧化氫通過分解器轉(zhuǎn)化為水和氧氣，不斷循環(huán)將空氣中的過氧化氫濃度降到1ppm以下。

每個階段的操作可通過手動單獨控制，也可以自動控制，按照順序逐一運行。