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一、儀器介紹：

高溫真空氣氛管式爐設(shè)計(jì)用于1100℃或1700℃以下CVD工藝。采用開啟式設(shè)計(jì)，方便樣品操作及爐管更換。高純電阻絲內(nèi)嵌在輕質(zhì)陶瓷纖維材料中，周邊拓展系統(tǒng)齊全，高溫真空氣氛管式爐適合高校、科研院所實(shí)驗(yàn)之使用。

二、儀器特點(diǎn)：

1.最高溫度1100℃、1700℃。

2.分體式設(shè)計(jì)，降溫速率快。
3.工作管徑范圍φ30mm、φ40mm、φ50mm、φ60mm、φ80mm、φ100mm。
4.高純氣煉石英管或者高純陶瓷管。

5.輕質(zhì)陶瓷纖維隔熱材料，耐熱沖擊性好，蓄熱低。

6.快速升溫，升溫速率可達(dá)10℃。

7.半導(dǎo)體繼電器控制加熱元器件，控溫精確，壽命長(zhǎng)，無(wú)噪音。

8.多段程序控溫，PID調(diào)節(jié)，可編制多種升降溫程序。

9.超溫保護(hù)功能，超溫自動(dòng)斷電。

三、可選配置：

1.真空泵
2.多區(qū)控溫，兩溫區(qū)YMG(2)系列或三溫區(qū)YMG(3)系列（如下圖）
3.瑞典kanthal 電熱絲

4.數(shù)顯真空計(jì)（高精度顯示真空值）

5.多路氣氛混氣系統(tǒng)（浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)）

6.無(wú)紙紀(jì)錄儀（帶通訊端口）

四、技術(shù)參數(shù)：