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所 在 地北京市
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更新時(shí)間：2025-02-03 10:45:43瀏覽次數(shù)：54次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線采用單片晶圓濕式工藝設(shè)備，適用于2-6晶圓、4-8晶圓、8-12晶圓
采用單片晶圓濕式工藝設(shè)備，適用于2"-6"晶圓、4″- 8″晶圓、8″- 12″晶圓。
工藝過程可編程，適應(yīng)于晶圓最終清洗、投片前清洗、晶圓刻蝕等不同工藝
可對正面及背面同時(shí)進(jìn)行清洗或腐蝕
采用雙手指機(jī)械臂傳送晶圓
采用雙面無基礎(chǔ)清洗載物臺
配備雙面PVA刷洗功能
配備藥液控溫單元
配備自動配藥單元
可選配兆聲單元
可選配自動滅火單元
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